高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応
ファイブラボ株式会社
この製品について
■タイプ
多入射・短波長・長波長■高精度測定Ⅰ
測定方式に回転位相子法を採用し、測定値Δ (位相差) の値に依存せず､どの領域でも高精度測定を実現しています。■高精度測定Ⅱ
位相板は専用の広帯域位相板を使用。■波長分解能
モノクロメータは1,024分割2次元CCD採用のマルチチャンネル対応を使用しており､0.75NMという高波長分解能な測定を短時間で行えます｡■解析力
弊社の解析ソフトウエアーは複雑な分光エリプソの解析をスムーズに行うため、使い勝手を重視し開発されました。しかしながらEMA解析・EMF解析等高解析力はそのまま維持しています。加えて、独自の波長分散式の導入・異方性の解析など弊社の解析ソフトウエアーをカバーする分光解析ソフトウエアー“SCOUT”を標準装備しています。■再現性
オプティカルエンコーダとホールモータの組み合わせにより高再測定を実現しています｡■信頼性
校正時、NIST基準の数種の膜厚のSiO2/SIサンプルに加え、2種のガラス基板の光学定数測定を行い、データの信頼性を高めています｡-
シリーズ
高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応
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取扱企業
ファイブラボ株式会社
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カテゴリ
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高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応 品番9件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定方式 | 光源 | ビーム経 | 偏光素子 | 位相板 | 分光器 | 受光素子 | 波長領域 | 波長分解能 | 測定精度 | 入射角 | サンプルステージ | 測定対象サンプル | 解析ソフトウエアー | 分光解析ソフト | PC |
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MASS-103ST |
要見積もり | 回転位相子法 (RQ法) | 150WHaランプ | 約φ1~5mm | グラントムソンプリズム | 広帯域位相板 | マルチチャンネル型 | 2次元CCDタイプ | 360~900nm | 0.75nm | Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) | 固定 | 固定 |
・バルク材 ・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜" |
バルク材屈折率・吸収係数解析 単層膜、多層膜1変数解析 単層膜、多層膜2変数解析 バルク材成分比解析 単層膜・多層膜成分比解析 単層膜・多層膜分散式解析 |
“SCOUT” (オプション) | IBM-PCまたは互換機 | |
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MASS-103SH |
要見積もり | 回転位相子法 (RQ法) | 150WHaランプ | 約φ1~5mm | グラントムソンプリズム | 広帯域位相板 | マルチチャンネル型 | 2次元CCDタイプ | 360~900nm | 0.75nm | Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) | 固定 | 手動θ-Y |
・バルク材 ・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜" |
バルク材屈折率・吸収係数解析 単層膜、多層膜1変数解析 単層膜、多層膜2変数解析 バルク材成分比解析 単層膜・多層膜成分比解析 単層膜・多層膜分散式解析 |
“SCOUT” (オプション) | IBM-PCまたは互換機 | |
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MASS-103SM |
要見積もり | 回転位相子法 (RQ法) | 150WHaランプ | 約φ1~5mm | グラントムソンプリズム | 広帯域位相板 | マルチチャンネル型 | 2次元CCDタイプ | 360~900nm | 0.75nm | Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) | 固定 | 自動θ-Y |
・バルク材 ・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜" |
バルク材屈折率・吸収係数解析 単層膜、多層膜1変数解析 単層膜、多層膜2変数解析 バルク材成分比解析 単層膜・多層膜成分比解析 単層膜・多層膜分散式解析 |
“SCOUT” (オプション) | IBM-PCまたは互換機 | |
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MASS-103FT |
要見積もり | 回転位相子法 (RQ法) | 150WHaランプ | 約φ1~5mm | グラントムソンプリズム | 広帯域位相板 | マルチチャンネル型 | 2次元CCDタイプ | 360~900nm | 0.75nm | Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) | 手動可変 | 固定 |
・バルク材 ・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜" |
バルク材屈折率・吸収係数解析 単層膜、多層膜1変数解析 単層膜、多層膜2変数解析 バルク材成分比解析 単層膜・多層膜成分比解析 単層膜・多層膜分散式解析 |
“SCOUT” (オプション) | IBM-PCまたは互換機 | |
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MASS-103FH |
要見積もり | 回転位相子法 | 150WHaランプ | 約φ1~5mm | グラントムソンプリズム | 広帯域位相板 | マルチチャンネル型 | 2次元CCDタイプ | 380~900nm | 0.75nm | Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) | 手動可変 | 手動θ-Y |
・バルク材 ・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜" |
バルク材屈折率・吸収係数解析 単層膜、多層膜1変数解析 単層膜、多層膜2変数解析 バルク材成分比解析 単層膜・多層膜成分比解析 単層膜・多層膜分散式解析 |
“SCOUT” (オプション) | IBM-PCまたは互換機 | |
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MASS-103FM |
要見積もり | 回転位相子法 (RQ法) | 150WHaランプ | 約φ1~5mm | グラントムソンプリズム | 広帯域位相板 | マルチチャンネル型 | 2次元CCDタイプ | 360~900nm | 0.75nm | Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) | 手動可変 | 自動θ-Y |
・バルク材 ・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜" |
バルク材屈折率・吸収係数解析 単層膜、多層膜1変数解析 単層膜、多層膜2変数解析 バルク材成分比解析 単層膜・多層膜成分比解析 単層膜・多層膜分散式解析 |
“SCOUT” (オプション) | IBM-PCまたは互換機 | |
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MASS-103MT |
要見積もり | 回転位相子法 (RQ法) | 150WHaランプ | 約φ1~5mm | グラントムソンプリズム | 広帯域位相板 | マルチチャンネル型 | 2次元CCDタイプ | 360~900nm | 0.75nm | Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) | 自動可変 | 固定 |
・バルク材 ・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜" |
バルク材屈折率・吸収係数解析 単層膜、多層膜1変数解析 単層膜、多層膜2変数解析 バルク材成分比解析 単層膜・多層膜成分比解析 単層膜・多層膜分散式解析 |
“SCOUT” (オプション) | IBM-PCまたは互換機 | |
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MASS-103MH |
要見積もり | 回転位相子法 (RQ法) | 150WHaランプ | 約φ1~5mm | グラントムソンプリズム | 広帯域位相板 | マルチチャンネル型 | 2次元CCDタイプ | 360~900nm | 0.75nm | Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) | 自動可変 | 手動θ-Y |
・バルク材 ・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜" |
バルク材屈折率・吸収係数解析 単層膜、多層膜1変数解析 単層膜、多層膜2変数解析 バルク材成分比解析 単層膜・多層膜成分比解析 単層膜・多層膜分散式解析 |
“SCOUT” (オプション) | IBM-PCまたは互換機 | |
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MASS-103MM |
要見積もり | 回転位相子法 (RQ法) | 150WHaランプ | 約φ1~5mm | グラントムソンプリズム | 広帯域位相板 | マルチチャンネル型 | 2次元CCDタイプ | 360~900nm | 0.75nm | Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時) | 自動可変 | 自動θ-Y |
・バルク材 ・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜" |
バルク材屈折率・吸収係数解析 単層膜、多層膜1変数解析 単層膜、多層膜2変数解析 バルク材成分比解析 単層膜・多層膜成分比解析 単層膜・多層膜分散式解析 |
“SCOUT” (オプション) | IBM-PCまたは互換機 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
