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高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応-MASS-103ST
高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応-ファイブラボ株式会社

高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応
ファイブラボ株式会社



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この製品について

■タイプ

多入射・短波長・長波長

■高精度測定Ⅰ

測定方式に回転位相子法を採用し、測定値Δ (位相差) の値に依存せず、どの領域でも高精度測定を実現しています。

■高精度測定Ⅱ

位相板は専用の広帯域位相板を使用。

■波長分解能

モノクロメータは1,024分割2次元CCD採用のマルチチャンネル対応を使用しており、0.75NMという高波長分解能な測定を短時間で行えます。

■解析力

弊社の解析ソフトウエアーは複雑な分光エリプソの解析をスムーズに行うため、使い勝手を重視し開発されました。しかしながらEMA解析・EMF解析等高解析力はそのまま維持しています。加えて、独自の波長分散式の導入・異方性の解析など弊社の解析ソフトウエアーをカバーする分光解析ソフトウエアー“SCOUT”を標準装備しています。

■再現性

オプティカルエンコーダとホールモータの組み合わせにより高再測定を実現しています。

■信頼性

校正時、NIST基準の数種の膜厚のSiO2/SIサンプルに加え、2種のガラス基板の光学定数測定を行い、データの信頼性を高めています。

  • シリーズ

    高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応

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高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応 品番9件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 光源 ビーム経 偏光素子 位相板 分光器 受光素子 波長分解能 測定精度 測定対象サンプル 解析ソフトウエアー 分光解析ソフト PC
高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応-品番-MASS-103ST

MASS-103ST

要見積もり

回転位相子法 (RQ法)

150WHaランプ

約φ1~5mm

グラントムソンプリズム

広帯域位相板

マルチチャンネル型

2次元CCDタイプ

360~900nm

0.75nm

Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時)

固定

固定

・バルク材
・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜"

バルク材屈折率・吸収係数解析
単層膜、多層膜1変数解析
単層膜、多層膜2変数解析
バルク材成分比解析
単層膜・多層膜成分比解析
単層膜・多層膜分散式解析

“SCOUT” (オプション)

IBM-PCまたは互換機

高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応-品番-MASS-103SH

MASS-103SH

要見積もり

回転位相子法 (RQ法)

150WHaランプ

約φ1~5mm

グラントムソンプリズム

広帯域位相板

マルチチャンネル型

2次元CCDタイプ

360~900nm

0.75nm

Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時)

固定

手動θ-Y

・バルク材
・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜"

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単層膜、多層膜1変数解析
単層膜、多層膜2変数解析
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高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応-品番-MASS-103SM

MASS-103SM

要見積もり

回転位相子法 (RQ法)

150WHaランプ

約φ1~5mm

グラントムソンプリズム

広帯域位相板

マルチチャンネル型

2次元CCDタイプ

360~900nm

0.75nm

Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時)

固定

自動θ-Y

・バルク材
・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜"

バルク材屈折率・吸収係数解析
単層膜、多層膜1変数解析
単層膜、多層膜2変数解析
バルク材成分比解析
単層膜・多層膜成分比解析
単層膜・多層膜分散式解析

“SCOUT” (オプション)

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高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応-品番-MASS-103FT

MASS-103FT

要見積もり

回転位相子法 (RQ法)

150WHaランプ

約φ1~5mm

グラントムソンプリズム

広帯域位相板

マルチチャンネル型

2次元CCDタイプ

360~900nm

0.75nm

Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時)

手動可変

固定

・バルク材
・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜"

バルク材屈折率・吸収係数解析
単層膜、多層膜1変数解析
単層膜、多層膜2変数解析
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単層膜・多層膜成分比解析
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MASS-103FH

要見積もり

回転位相子法

150WHaランプ

約φ1~5mm

グラントムソンプリズム

広帯域位相板

マルチチャンネル型

2次元CCDタイプ

380~900nm

0.75nm

Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時)

手動可変

手動θ-Y

・バルク材
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バルク材屈折率・吸収係数解析
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MASS-103FM

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MASS-103MT

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マルチチャンネル型

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Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時)

自動可変

固定

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・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜"

バルク材屈折率・吸収係数解析
単層膜、多層膜1変数解析
単層膜、多層膜2変数解析
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MASS-103MH

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150WHaランプ

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2次元CCDタイプ

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0.75nm

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高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応-品番-MASS-103MM

MASS-103MM

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回転位相子法 (RQ法)

150WHaランプ

約φ1~5mm

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広帯域位相板

マルチチャンネル型

2次元CCDタイプ

360~900nm

0.75nm

Δ:±0.05度Ψ:±0.05度 (ただし、SiO2 (1,000Å) /Si基板測定時)

自動可変

自動θ-Y

・バルク材
・Si基板のような吸収の有る基板上の単層膜、及び多層膜"

バルク材屈折率・吸収係数解析
単層膜、多層膜1変数解析
単層膜、多層膜2変数解析
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会社概要

ファイブラボ株式会社は1988年に設立した、光学機器及び装置の専門メーカーです。 光学機器や装置の開発・製造・販売をメインの事業として展開しており、光で膜の厚みなどを測定する装置であるエリプソンメーター、非接触で角度を...

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