顕微分光反射率顕微鏡 LVmicro-RUR
株式会社ラムダビジョン

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この製品について

これまでに無い反射率計測を実現致します。微小サイズにおける分光計測はもちろんのこと、オートフォーカス機能も標準搭載。凹凸表面についても、弊社独自の技術により、確実に頂点 (面頂) を計測することができます。 (現在、特許申請中) 弊社では2μmからの微小領域において高精度、高安定な顕微分光計測技術をご提案いたします。

■特徴※LVmicro-RUR は15倍反射対物レンズ使用を中心としております。
・オートフォーカス標準搭載
・XY自動ステージ (50mm標準) 
・Z自動ステージ (100mm標準) 
・パレット複数試料計測対応
・Θチルト傾斜計測対応 (オプション) 
・分光ユニット交換で以下の波長域に対応：250nm～900nm,380～1,050nm、400nm～1,100nm,900nm～1,650nm
・レンズやフィルタの透過率計測に対応 (オプション) 、積分球使用のため試料依存なしで計測
・計測サイズ φ30μm (反射計測) 、φ3mm (積分球使用透過計測) 