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分光式膜厚計測 TFW-100 (1)取扱企業
株式会社ラムダビジョンカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 用途 | 計測膜厚 | 計測再現性 | 計測波長 | 光源 | 計測ソフト |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
TFW-100 (1) |
要見積もり |
ITO等の薄膜用 |
10nm~500nm (C/F) 、500nm~15μm (FFT) |
0.2%~1% (膜質依存による) |
300nm~1,000nm |
12V-100W ハロゲン |
TF-Lab (カーブフィッティング法 / FFT法) |
分光器をフィルターから探すことができます
波長分解能 nm
0 - 1 1 - 4 4 - 10分光方式
完全集光型ローランド円 平面グレーティングツェルニターナ配置 凹面グレーティング 凹面回折格子定偏角モノクロメータ ツェルニターナ形焦点距離 mm
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800検出器
Arroyo5305 CMOSリニアイメージセンサー FFT-CCD MOS PMT SONY ILX シリコンドリフト検出器 Xe封入型スリット幅 µm
10 - 100 100 - 1000 1000 - 3000光源
白色光源 1mW-2000mW QTH, SiC光源 ハロゲンランプ 重水素ランプ 450nm LED 450nmレーザー 365nm LED キセノンランプインターフェース
RS232 RS232C USB1.1/2.0 USB2.0 USB2.0/LAN USB2.0/RS232 USB3.0 USB3.1