顕微分光システム LVmicro-Z1
株式会社ラムダビジョン

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この製品について

産業分野における顕微分光の業界標準器です。近年、様々な分野におけるマイクロデバイスの製造・開発において、微小サイズにおける分光計測の必要性が求められています。弊社では2μmからの微小領域において高精度、高安定な顕微分光計測技術をご提案いたします。

■LVmicro-Z/1 は5倍対物レンズ使用を中心としております。本シリーズは5倍対物レンズ (15µm/30μmスポットサイズ) 計測を基本としております。オートフォーカスは搭載しておりません (マニュアルフォーカスのみ) 

■LVmicro-Z/2 20倍/50倍対物レンズでの計測を中心とし、2µmからのスポットサイズ計測が可能です。LVmicro-Z/1と比べ振動に強い剛性を備えており、安定した微小スポット計測を実現いたします。

■特徴・最小2μm領域が計測可能です。 (微小の場合は計測環境として高精度除振台が必要になる場合があります) 
・観察エリアのみを光照射、他のエリアからのデータが発生しません。 (直良小穴計測) 
・オートフォーカス標準装備 (LVmicro-Z/2) で個人誤差が最小限に抑えられます、Z軸試料上下動は自動ステージ採用。
・画像観察USBカメラを標準搭載、画像保存が可能です。 (オートフォーカスにも使用いたします) 
・観察エリアにはポインタ光が照射されるため、どの位置を計測しているかが一目瞭然です。
・上記ポインタ光以外に試料全体画像観察する為の全体照明 (白色LED採用) があり、分光計測時は自動で消灯します。
・分光光源部に高精度の安定化ハロゲンランプと安定化電源を採用ております。
・試料テーブルも6インチ/8インチ/14インチを用意してあります (手動) 。オプションで自動ステージ可能。
・分光検出部分には高感度CCDを採用しており、微小領域からの微弱信号でも安定測定を実現にたします。
・現状、他社の分光装置でのデータ取りを行っている方のためのデータ合わせ補正機能が利用できます。
・様々な管理機能搭載で色度や透過率等で管理幅を設定し、合格品と不良品の判定が可能です。