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真空蒸着用膜厚センサー 真空蒸着用膜厚モニター 6MHz-6A100W
真空蒸着用膜厚センサー 真空蒸着用膜厚モニター 6MHz-ピエゾパーツ株式会社

真空蒸着用膜厚センサー 真空蒸着用膜厚モニター 6MHz
ピエゾパーツ株式会社



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この製品について

真空蒸着用膜厚センサー (以下『膜厚モニター水晶』) は、真空成膜時に使用され、物理膜厚を検知するセンサーです。弊社膜厚モニター水晶は、高度な技術を用い、設計・製造。より発振のばらつきを抑えたセンサーをご提供しております。お客様より、お預かりした水晶をリサイクルする事業では、結果をフィードバックしております。

■真空蒸着用膜厚センサーとは

加熱された蒸着材料が基板と同じく膜厚モニター水晶にも付着します。蒸着材料が膜厚モニター水晶に付着すると、膜厚モニター水晶の周波数が付着した蒸着材料の質量の変化によって変化します。この周波数の変化量によって膜厚や成膜速度 (レート) を計測し、真空蒸着装置などの成膜装置において、蒸発源の加熱制御装置にフィードバックし基板への蒸着速度を一定に制御する事が出来ます。

  • シリーズ

    真空蒸着用膜厚センサー 真空蒸着用膜厚モニター 6MHz

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真空蒸着用膜厚センサー 真空蒸着用膜厚モニター 6MHz 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 外形寸法 電極材料 中心周波数 周波数許容範囲 直列抵抗 動作温度範囲 周波数温度特性
真空蒸着用膜厚センサー 真空蒸着用膜厚モニター 6MHz-品番-6A100W

6A100W

要見積もり

Φ14

Au

5,985kHz

±5.0kHz

15Ωmax

25~120℃

±50ppm

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

ピエゾパーツ株式会社は、センサーやモニターガラスの販売などを手掛けている企業です。 1990年に会社を設立しています。その後は、1992年に八王子市で工場取得、2001年に新潟県で関連会社設立、2009年に台湾支店を開...

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  • 本社所在地: 東京都
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