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XYZステージ VB152XY-Z-VB152XY-Z
XYZステージ VB152XY-Z-バキュームプロダクツ株式会社


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この製品について

■概要

ベースフランジを基準にXYZに移動させます。高精度のマイクロメータを使用していますので真空内の位置決めが容易に行えます。

■特長

オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。

  • シリーズ

    XYZステージ VB152XY-Z

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XYZステージ VB152XY-Z 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 接続フランジ 移動側 接続フランジ 固定側 有効内径 移動量 繰返し精度 目盛 寿命 リーク量 ベーキング温度 予備ポート
XYZステージ VB152XY-Z-品番-VB152XY-Z

VB152XY-Z

要見積もり

ICF70

ICF152

φ36mm

XY:7.5mm Z:50mm

XY:0.01mm以下 Z:0.05mm以下

XY:0.001mm Z:0.02mm

10,000回

2×10-11Pa・m3/sec以下

最高200℃

CF34×4

フィルターに該当する他製品

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移動範囲: 0 - 20mm

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手動ステージをフィルターから探すことができます

耐荷重 kg

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 50 50 - 100

ステージサイズ mm

20 - 80 80 - 150 150 - 250 250 - 350 350 - 450 450 - 500

ストローク mm

-10 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 250 250 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

10 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

プレート材質

アルミ A5052

ロック方式

マグネットロック ロレットつまみねじ ハンドルロック

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