XYZステージ VB152XY-Z
バキュームプロダクツ株式会社

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この製品について

■概要ベースフランジを基準にXYZに移動させます。高精度のマイクロメータを使用していますので真空内の位置決めが容易に行えます。

■特長オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。

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商品画像	品番	価格 (税抜)	接続フランジ移動側	接続フランジ固定側	有効内径	移動量	繰返し精度	目盛	寿命	リーク量	ベーキング温度	予備ポート
	VB152XY-Z	要見積もり	ICF70	ICF152	φ36mm	XY：7.5mm Z：50mm	XY：0.01mm以下 Z：0.05mm以下	XY：0.001mm Z：0.02mm	10,000回	2×10-11Pa・m3/sec以下	最高200℃	CF34×4