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真空バルブ クランプバルブ-クランプバルブ
真空バルブ クランプバルブ-アトーテック株式会社

真空バルブ クランプバルブ
アトーテック株式会社

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この製品について

■特長

・クランプ継手は国際標準規格 (ISO) および日本工業規格 (JIS) です。 ・バルブのフランジの形状はクランプ形になっており、JISフランジ (B2290) と異なり1コの蝶ナットを指先の力だけで締め付けることができます。 ・各バルブボディのフランジの面間距離が等しく、取り付け方向は自由に変えることができます。 ・バルブボディおよび内部部品はステンレス材を使用し耐腐食性に優れています。 ・ベローズ材質はSUS316Lを使用しています。 ・シャフトシールにはOリングシールとベローズシールがあります。 ・シール材はフッ素ゴムを使用しています。 ・シャフトシール部Oリングシールのバルブでは、閉動作時にシャフトからのガス放出による一時的な圧力上昇があります。ただし、ベローズシャフトシールのバルブでは圧力上昇は起こりません。 ・ボディ・シール部の漏れ量は1.0x10^-10 (Pa・m3/s) 以下です。

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    真空バルブ クランプバルブ

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会社概要

アトーテック株式会社は、1989年に設立された真空装置メーカーです。 一般社団法人日本真空学会に加盟し、半導体製造などに用いられる容器の内部から気体を排出させて、容器内を真空状態にする真空ポンプや、半導体製造や医薬品の...

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