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真空ポンプ ターボ分子ポンプシリーズ 磁気軸受形 複合分子ポンプ (TG-Mシリーズ) /フルデジタルタイプ-複合分子ポンプ (TG-Mシリーズ) /フルデジタルタイプ
真空ポンプ ターボ分子ポンプシリーズ 磁気軸受形 複合分子ポンプ (TG-Mシリーズ) /フルデジタルタイプ-アトーテック株式会社

真空ポンプ ターボ分子ポンプシリーズ 磁気軸受形 複合分子ポンプ (TG-Mシリーズ) /フルデジタルタイプ
アトーテック株式会社

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この製品について

■概要

・300～2,400L/sまでラインナップ。 ・フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減。 ・モデルカップリングフリーだから、シリーズ全機種が同一のコントローラーで運転可能。 ※オートキャリブレーション (センサ自動調整) ・回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能。 ・特別仕様として断熱構造仕様もあり、反応生成物が堆積するようなプロセスでも長時間使用可能

  • シリーズ

    真空ポンプ ターボ分子ポンプシリーズ 磁気軸受形 複合分子ポンプ (TG-Mシリーズ) /フルデジタルタイプ

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真空ポンプ ターボ分子ポンプシリーズ 磁気軸受形 複合分子ポンプ (TG-Mシリーズ) /フルデジタルタイプ 品番1件

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アトーテック株式会社は、1989年に設立された真空装置メーカーです。 一般社団法人日本真空学会に加盟し、半導体製造などに用いられる容器の内部から気体を排出させて、容器内を真空状態にする真空ポンプや、半導体製造や医薬品の...

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