信頼性の高いデータ取得残留ガス分析器
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SRS社マスフィルタのベースとなる四重極質量分析器です。信頼性の高いデータ取得はもとより、フィラメント、エレクトロンマルチプライヤ (EM) の交換が容易な点などリーズナブルで高いメンテナンス性能にも定評があります。対象のマスレンジによりモデルの選択が可能です。


■残留ガス分析器の原理と仕組み気体中の成分情報や真空状態の質を確認するために用いられる装置が、残留ガス分析器  (プロセスガスモニタ)  で、残留ガス分析計とも呼ばれます。残留ガス分析器は主に3つの部分から構成されていて、分析対象となる気体は「イオン源」「質量分離部」「検出部」のプロセスを経て分析されます。まず試料となる気体は、イオン源で加熱された熱電子と衝突してイオン化します。

次に質量分離部に入った試料イオンは、イオンの質量ごとに分離されて、順番に検出部へと送られます。質量分離部は4本の平行な棒状電極により構成され、それらに直流電圧と高周波電圧を加えることで、イオンの質量分離を行います。この構造の分析器を、「四重極型分析器」と呼びます。

最後に検出部に入った試料イオンは、電極に衝突して2次電子を生み出します。この電子が検出部内で衝突を繰り返しながら増幅され、その信号を読み取ることにより気体の組成を分析できるのです。

■主な用途・半導体製造装置プロセスモニタ
・液晶、有機ELパネル製造装置プロセスモニタ
・昇温脱離ガス分析などの研究開発
・太陽光発電システムの研究開発
・環境測定

コーンズテクノロジーでは用途に応じて、RGA100、RGA200、RGA300の3機種を取り扱っています。

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
信頼性の高いデータ取得残留ガス分析器

取扱企業
コーンズテクノロジー株式会社

カテゴリ

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信頼性の高いデータ取得残留ガス分析器品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	マスレンジ 100amu 200amu 300amu	分解能	ダイナミックレンジ	分圧	その他	オプション
RGA100	要見積もり	100amu	1amu	6 桁 (シングルスキャン)	5×10-14Torr (EM差動時)	リアルタイム Windowsソフトウェア表示モードマススペクトル、リークディテクタ、真空度vs時間マルチヘッドオペレーション	二次電子増倍管オプション (EM) イオンカウンティング出力オプション Ethernet アダプターオプション
RGA200	要見積もり	200amu	1amu	6 桁 (シングルスキャン)	5×10-14Torr (EM差動時)	リアルタイム Windowsソフトウェア表示モードマススペクトル、リークディテクタ、真空度vs時間マルチヘッドオペレーション	二次電子増倍管オプション (EM) イオンカウンティング出力オプション Ethernet アダプターオプション
RGA300	要見積もり	300amu	1amu	6 桁 (シングルスキャン)	5×10-14Torr (EM差動時)	リアルタイム Windowsソフトウェア表示モードマススペクトル、リークディテクタ、真空度vs時間マルチヘッドオペレーション	二次電子増倍管オプション (EM) イオンカウンティング出力オプション Ethernet アダプターオプション

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コーンズテクノロジー株式会社は、エレクトロニクス関連機器、電子部品、産業機材関連機器、理化学機器の販売・マーケティング・技術支援、及びダイヤ成膜装置の設計・開発・製造・販売を主な事業内容とする企業です。 1990年に設...

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