ガス分析計：プロセスガスモニター CGM-2シリーズ 三弘エマテック株式会社
三弘エマテック株式会社の対応状況
返答率
100.0%
平均返答時間
44.4時間
この製品について
■製品説明
・分解能：M/△M=1M (10% P.H.) ・電源電圧: DC24V±10％ 50W ・最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時) : 120℃ ・最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時) : 250℃ ・使用温度範囲: 10～40℃ ・インターフェース: Ethernet ・ソフトウェア: Qulee QCS Ver.4.2以降 (Windows 8/10/11) 対応 ・適合規格: CE■用途
スパッタリング装置の残留ガス分析: スパッタリング装置で生成される残留ガスの分析に使用されます。これはプロセス制御や製品品質向上に役立ちます。プロセスモニタリング: スパッタリングプロセスのモニタリングに使用され、プロセスの安定性や品質管理を支援します。不純物 (H2O) 管理: 水分の不純物管理に使用され、水分の制御が重要なプロセスにおいて役立ちます。 スパッタリング装置のリークテスト: スパッタリング装置のリークテストに使用され、密封性や漏れの確認に役立ちます。■特徴
スパッタリングプロセスに最適: この装置はスパッタリングプロセスに最適に適用できる特徴を持っています。CGMはそのプロセスの監視や管理に役立ちます。Air Leak監視: 空気漏れを監視する機能が備えられています。これは製品やプロセスの品質管理に重要な要素です。残留水分管理: 残留水分の管理を行うことができます。水分の制御は多くの製造プロセスで重要です。 プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要: プロセスモニタリングにおいて、差動排気システムが不要で、非常に低い圧力 (1Pa以下) を測定でき、スペースの節約が可能です。 高感度リークテストが可能: 特に高感度のリークテストができ、CGM2-052モデルではこの機能が提供されています。リークテストは密封性の確認や品質管理に使用されます。全圧測定が可能: 圧力の全範囲で測定が可能です。表示部一体型の設計: パソコンが不要で、本体に表示部が一体化されているため、パソコンレスで測定が可能です。-
シリーズ
ガス分析計：プロセスガスモニター CGM-2シリーズ
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取扱企業
三弘エマテック株式会社
ガス分析計注目ランキング
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ガス分析計：プロセスガスモニター CGM-2シリーズ 品番4件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 質量分離方式 | 質量数範囲 | 検出器 | 感度 | 最小検知分圧 | 最大使用圧力 | リニアリティ: | 全圧測定機能 | DEGAS (デガス) 機能 | One Clickリークチェック機能 |
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CGM2-051 |
要見積もり | (株) アルバック | 四重極型質量分析計 | 1~50 amu | ファラデーカップ | 0.1uA/Pa | 1×10-7Pa | 2Pa | 1Pa | あり | あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA | あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |
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CGM2-101 |
要見積もり | (株) アルバック | 四重極型質量分析計 | 1~100 amu | ファラデーカップ | 0.1uA/Pa | 1×10-7Pa | 2Pa | 1Pa | あり | - | - | |
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CGM2-052 |
要見積もり | (株) アルバック | 四重極型質量分析計 | 1~50 amu | ファラデーカップ | 0.1mA/Pa | 1×10-10Pa | 2Pa (FC) 1×10-2Pa (SEM) | 1Pa | あり | あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA | あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |
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CGM2-102 |
要見積もり | (株) アルバック | 四重極型質量分析計 | 1~100 amu | ファラデーカップ | 0.1mA/Pa | 1×10-10Pa | 2Pa (FC) 1×10-2Pa (SEM) | 1Pa | あり | あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA | あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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