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昇温脱離ガス分析装置取扱企業
アリオス株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 昇温温度範囲 | サンプル寸法 | 基板ステージ材質 | 到達圧力 | 加熱方法 | 基板搬送 | 温度センサ | 測定質量数範囲 | 最小検出分圧 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
赤外線加熱方式 (1,000℃タイプ) |
要見積もり |
室温 (RT) ~ 1,000℃ (Max) |
10mm×10mm 3mmt |
石英 |
1×10^-7Pa以下 (分析室) |
赤外線加熱方式 |
トランスファーロッド (手動) |
Cタイプ熱電対 (ヒータ制御用) |
1 ~ 200amu ※QMSの仕様による |
<1×10^-12Pa ※QMSの仕様による |
ガス分析計をフィルターから探すことができます
測定範囲 ppm
0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1000 1000 - 10000 10000 - 100000 100000 - 1000000質量数範囲 amu
1 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500分析時間 秒
50 - 100 100 - 150質量分解能 M/ΔM
0 - 1 1 - 2 2 - 3動作温度範囲 ℃
-200 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150電源・電圧 V
0 - 20 20 - 90 90 - 180 180 - 240 240 - 270応答速度 sec
0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 160精度 %FS
0 - 1 1 - 2 2 - 20 20 - 40 40 - 50使用ガス
ヘリウム 窒素 高純度水素 精製空気 酸素