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3次元測定器 非接触厚み測定システム-TAP-2H-50XY
3次元測定器 非接触厚み測定システム-コムス株式会社

3次元測定器 非接触厚み測定システム
コムス株式会社

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この製品について

■非接触厚み測定システム

レーザ変位センサを2台使用することにより、測定対象物を上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。自動ステージシステムと連動し、多点で厚みを測定し、それぞれのポイントの厚み測定結果から一面の厚み変化を簡単に測定することが可能です。

■専用厚み測定冶具にてセンサ・測定サンプルを簡単設定

非接触レーザ変位センサを使用して厚み測定をする場合、2台のセンサの位置合わせ、しっかりとした固定、サンプルの設定が、測定結果に大きな影響を与えます。専用厚み測定冶具には、レーザ変位センサ専用の固定治具、サンプル設置台があらかじめセットアップしてあるため、レーザ変位センサの取付け、測定サンプルの設定が非常に簡単におこなえます。

■測定対象物を選ばない非接触厚み測定

非接触レーザ変位センサで計測するため、測定サンプルに接触することなく傷を付けることがありません。半導体ウエハや液晶ガラスなど、表面に接触することができないサンプルや、接触すると形状が変化するような柔らかいサンプルなど従来の接触式厚み測定器では、測定が困難な対象物の厚みを測定可能にします。

■マスターワークを用意すれば、厚み絶対値の測定も可能

レーザ変位センサは、センサ部と測定対象物の相対的な距離 (位置) を測定する計測器ですが、 2台のレーザ変位センサにて挟み込んで測定する際に、ブロックゲージや厚みゲージなどの正確に厚みのわかっているマスターサンプルを測定し、キャリブレーションをおこなうことで、正確に厚みの絶対値測定が可能になります。厚み測定冶具には、厚みゲージなどの基準ゲージを取り付ける事が可能で、測定を開始する際に、一旦正確にキャリブレーションをして、厚みを測定することができるため、信頼性のある測定を可能としました。

■位置決め・データ収集もEXCEL対応ソフトで楽々設定EXCEL

自動ステージの位置決め、測定データの収集、上下レーザ変位センサの測定データの演算、結果 (交差判定、良品・不良品判定) まですべて簡単なEXCEL連動の計測・位置決めアプリケーションソフトE-mesure 1つでできます。測定設定後は、ボタン一つですべて測定が可能となります。

■その他

ユーザ様のサンプルに応じて、あらゆるカスタマイズに対応

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    3次元測定器 非接触厚み測定システム

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3次元測定器 非接触厚み測定システム 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 自動ステージシステム部 移動方向 自動ステージシステム部 移動量 自動ステージシステム部 テーブルサイズ 自動ステージシステム部 ガイド方式 自動ステージシステム部 送り方式 自動ステージシステム部 モータ 自動ステージシステム部 移動分解能 自動ステージシステム部 位置決め精度 自動ステージシステム部 繰返し位置決め精度 自動ステージシステム部 バックラッシュ 自動ステージシステム部 ロストモーション 自動ステージシステム部 真直度 (水平・垂直) 自動ステージシステム部 平行度A 自動ステージシステム部 最大移動速度 自動ステージシステム部 耐荷重 自動ステージシステム部 自重 レーザ変位センサ部 測定分解能 レーザ変位センサ部 繰り返し精度 レーザ変位センサ部 測定基準距離 レーザ変位センサ部 測定範囲 レーザ変位センサ部 センサヘッド位置調整 対応コントローラ ポジションコントローラ 対応コントローラ 高速アナログコントローラ 対応アプリケーションソフト
3次元測定器 非接触厚み測定システム-品番-TAP-2H-50XY

TAP-2H-50XY

要見積もり

XY軸

50×50mm

150×80mm

リニアスライドガイド

精密ボールねじ リード5mm

0.75A/相 5相ステッピングモータ

0.5μm (分割数:1/20設定時)

10μm

±1μm

1μm

5μm

8μm

15μm

30mm/sec

15kg

約41kg

0.01μm
※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。

0.01μm
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会社概要

コムス株式会社は、1998年に兵庫県神戸市を本社として設立された産業用機械メーカーです。 現在の本社は兵庫県尼崎市にあり、本社の他に神奈川県厚木市に営業所を設け、主要機器である高精度自動ステージや高精度3次元形状測定シス...

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  • 本社所在地: 兵庫県
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