3次元測定器非接触厚み測定システム
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この製品について

■非接触厚み測定システムレーザ変位センサを2台使用することにより、測定対象物を上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。自動ステージシステムと連動し、多点で厚みを測定し、それぞれのポイントの厚み測定結果から一面の厚み変化を簡単に測定することが可能です。

■専用厚み測定冶具にてセンサ・測定サンプルを簡単設定非接触レーザ変位センサを使用して厚み測定をする場合、2台のセンサの位置合わせ、しっかりとした固定、サンプルの設定が、測定結果に大きな影響を与えます。専用厚み測定冶具には、レーザ変位センサ専用の固定治具、サンプル設置台があらかじめセットアップしてあるため、レーザ変位センサの取付け、測定サンプルの設定が非常に簡単におこなえます。

■測定対象物を選ばない非接触厚み測定非接触レーザ変位センサで計測するため、測定サンプルに接触することなく傷を付けることがありません。半導体ウエハや液晶ガラスなど、表面に接触することができないサンプルや、接触すると形状が変化するような柔らかいサンプルなど従来の接触式厚み測定器では、測定が困難な対象物の厚みを測定可能にします。

■マスターワークを用意すれば、厚み絶対値の測定も可能レーザ変位センサは、センサ部と測定対象物の相対的な距離 (位置) を測定する計測器ですが、 2台のレーザ変位センサにて挟み込んで測定する際に、ブロックゲージや厚みゲージなどの正確に厚みのわかっているマスターサンプルを測定し、キャリブレーションをおこなうことで、正確に厚みの絶対値測定が可能になります。厚み測定冶具には、厚みゲージなどの基準ゲージを取り付ける事が可能で、測定を開始する際に、一旦正確にキャリブレーションをして、厚みを測定することができるため、信頼性のある測定を可能としました。

■位置決め・データ収集もEXCEL対応ソフトで楽々設定EXCEL自動ステージの位置決め、測定データの収集、上下レーザ変位センサの測定データの演算、結果 (交差判定、良品・不良品判定) まですべて簡単なEXCEL連動の計測・位置決めアプリケーションソフトE-mesure 1つでできます。測定設定後は、ボタン一つですべて測定が可能となります。

■その他ユーザ様のサンプルに応じて、あらゆるカスタマイズに対応

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
3次元測定器非接触厚み測定システム

取扱企業
コムス株式会社

カテゴリ

測定機器

三次元測定機

メーター・計測機器

厚み測定器

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	TAP-2H-50XY	要見積もり	XY軸	50×50mm	150×80mm	リニアスライドガイド	精密ボールねじリード5mm	0.75A/相 5相ステッピングモータ	0.5μm (分割数：1/20設定時)	10μm	±1μm	1μm	5μm	8μm	15μm	30mm/sec	15kg	約41kg	0.01μm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。	0.01μm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。	10mm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。	±1mm ※システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。	ラックピニオン式XYZ軸手動ステージ (上側センサヘッド)	CP-700M	TUSB-0216ADMZ、AIO-163202FX-USB	Excel対応ポジション計測ソフト、Excel対応汎用データ収集ソフトウエア E-Measure2