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CRDS微量水分計 DewTracer mini CRDS-H2O-DewTracer mini CRDS-H2O
CRDS微量水分計 DewTracer mini CRDS-H2O-神栄テクノロジー株式会社

CRDS微量水分計 DewTracer mini CRDS-H2O
神栄テクノロジー株式会社

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この製品について

CRDS微量水分計 DewTracer mini CRDSは、国内メーカーとして初めて、CRDS方式の微量水分計の開発・製品化に成功し、微量水分領域で世界最速水準の応答性を持つ製品です。 12 ppbv ~ 20 ppmv(-100 ~ -55 ℃DP)の微量水分を測定可能です。

■微量水分領域での高精度・高感度・高速応答測定を実現

mini CRDS-H2Oは12 ppbv ~ 20 ppmv(-100 ~ -55 ℃DP)の微量水分を非常に精度良く測定可能です。また、測定部(キャビティ)の小型化を実現したため、ドライガス置換時の応答性も非常に高く、15 ppbv⇔1000 ppbvの水分量変化に対して、60秒以内で応答します(90%応答)。

■特長

①接ガス部は腐食に強く、高い長期安定性を実現 CRDS方式は構造上、センサであるレーザーやディテクターとガスが非接触であり、接ガス部にはSUSを中心とした耐薬品素材を採用しているため、 腐食性ガスにも対応可能です。また、水分吸着による電気特性変化を測定する原理とは異なり、CRDS方式は光の減衰時間から水分量が直接算出可能なため、 レーザーパワーの減少などの経年劣化に依存せず正確な測定が可能で、高い長期安定性を有しています。 ②センサ部とモニタ部は分離可能(PC利用可) センサ部とモニタ部はケーブルで接続されており、分離が可能です。 ケーブルを延長することによってセンサ部は測定現場へ設置し、モニタ部は制御室に設置することも可能です。 また、センサ部の代わりにPCを使用することも出来るため、現場に合った配置や構成を選択できます。 ③新たなスペクトル解析技術により装置の小型化を実現 独自のスペクトル解析技術を用いることにより、測定部(キャビティ)の小型化に成功し、筐体自体も非常に小型となったため、 今まで不可能であった装置組込や壁面取り付けなど様々な場所で利用可能です。また、持ち運びも容易なため、スポットの測定にも対応可能です。 ④見やすいタッチパネルで簡単操作 モニタ部には5inchのフルカラータッチパネルが搭載されており、測定の開始・停止や設定を行うことができます。 測定画面では大きな測定値とトレンドグラフが表示され、大きなグラフと切り替えることが可能です。 また、誤動作を防止するための画面ロック機能や、機器の状態を確認する機能、設定した閾値の判定を行うアラーム機能を搭載しています。 モニタ部の代わりにPCを使用する場合は、専用ソフトウェアにて同機能を使用可能です。 ⑤筐体内の不活性ガスパージが可能 サンプルガス用ポートとは別に、センサ部の筐体内部をパージするためのポートが設けられています。 サンプルガスが可燃性や有毒性を有する危険なガスの場合には、窒素などの不活性ガスを筐体内に流しておくことで 配管からサンプルガスが漏れ出した場合でも筐体外に漏れることを防ぎます。 ⑥校正証明書類の発行が可能 日本の国家計量標準を供給している国立研究開発法人産業技術総合研究所では、微量水分領域の標準を最小10ppbから供給しています。 当社のmini CRDS校正に使用している社内標準器は国家標準との計測トレーサビリティが確立されており、比較校正結果は校正書類として発行可能です。

■アプリケーション例

半導体用高純度ガス製造、検査、充填工程 全固体電池の研究、製造工程 グローブボックス、ドライチャンバーの管理、制御 半導体の研究・開発・製造工程 医療用高純度ガスの研究・開発・製造工程 医薬品の研究・開発・製造工程 リチウムイオン電池(LiB)の研究・開発・製造工程 電気二重層キャパシタ(EDLC)の研究・開発・製造工程 有機ELの研究・開発・製造工程 フラットパネルディスプレイの研究・開発・製造工程 精密電子部品の防錆・結露防止 粉体製造工程の湿度管理 ハイバリアフィルムの検査・性能確認・性能評価 高純度シリコン等の半導体材料製造工程

■アフターメンテナンス

神栄テクノロジー株式会社のCRDS微量水分計は製造から校正、修理まですべての対応を日本国内の自社工場で行っております。 当社による校正サービスで使用する作業標準器は日本国内で湿度標準を提供している産業技術総合研究所の湿度標準とトレーサビリティが確保されております。

  • シリーズ

    CRDS微量水分計 DewTracer mini CRDS-H2O

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CRDS微量水分計 DewTracer mini CRDS-H2O 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定原理 水分測定範囲 使用環境範囲 保存環境範囲 応答時間 サンプルガス温度範囲 サンプル流量 パージ流量 サンプルガス種別 サンプル圧力 システム精度 測定値 演算値 LCD表示(モニタ部) アナログ出力(オプション) デジタル出力(オプション) アラーム出力(オプション) 配管 供給電源 消費電力 重量
CRDS微量水分計 DewTracer mini CRDS-H2O-品番-DewTracer mini CRDS-H2O

DewTracer mini CRDS-H2O

要見積もり

CRDS(Cavity Ring Down Spectroscopy)方式

12 ppbv ~ 20 ppmv(-100 ~ -55 ℃DP)(in N2, 他のガスは別途)

10~40℃、35~80%rh以下(結露なきこと)

-10~40℃、35~85%rh以下(結露なきこと)

50⇔1000 [ppbv] 変化における90 [%]応答時間 60 [sec](typ.)

5~60℃以下

<2.0 L/min.

<5.0 L/min.

標準仕様:Air, N2, O2, Arから選択 実績ガス:He, H2, CO2, Kr, Xe, HCl, NF3, CF4, COS, C2F6, C4F8, PF3 その他のガスは要相談

86~106 kPaA(オプションにて~900kPaAまで対応)

±4% または ±12 ppbの大きい方

体積モル分率 [ppmv] 計測部ガス温度 [℃] 計測部ガス圧力 [PaA]

露点/霜点温度 [℃DP]

カラーLCD(800×480 WVGA) 5 inchタッチパネル

4~20 mA

RS-232C

リレー接点出力

サンプルガスIN-OUT:1/4 inch(フジキン製:UJR-RP) パージガス IN-OUT: 1/4 inch(フジキン製:UJR-RP)

付属ACアダプタ(100-240 V, 50 / 60 Hz, 1.4 Amax)

センサ部:10 W(typ.) モニタ部:30 W(typ.)

センサ部:約5 kg(ACアダプタを除く) モニタ部:約1.7 kg

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

私達、神栄テクノロジー株式会社は、空気質を「感じる、測る、試す」スペシャリストとして、パイオニアとしての独創性を発揮していきます。

常に進化を遂げるエレクトロニクスの世界にあって、神栄テクノロジーは空気...

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