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シリーズ
JEM-ACE200Fハイスループット解析電子顕微鏡取扱企業
日本電子株式会社カテゴリ
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半導体外観検査装置の製品23点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | TEM分解能 (200kV時) | STEM分解能 (200kV時) | 電子銃 | 加速電圧 | 試料傾斜角 | オプション |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JEM-ACE200F |
要見積もり |
粒子像 ≤0.21nm |
暗視野透過電子走査像 ≤0.136nm 収差補正 (オプション) 時 ≤0.1nm |
冷陰極電界放出形電子銃 (CFEG) |
60kV~200kV (200kV,80kV標準対応、その他の加速電圧は別途オプション) |
TX/TY (二軸傾斜ホルダー) ±20°/±25° |
JEOL100mm2 SDD (Dual) 、EELS、Cs corrector、Automation Center、Tomography |