デジタルマスフローコントローラ /メーター GF100シリーズ
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この製品について

■特長・MultiFloテクノロジーよるガス種とフルスケール流量レンジを選択・変更
・ユーザーフレンドリーなインターフェイスの診断機能とサービスポート
・耐腐食性のハステロイ製T-Riseセンサによる長期安定性能
・超高速300msのセトリングタイムを実現 (GF125 / GF135) 
・SDS (Safty Delivery System) 、HA (高精度) オプション
・PTI (Pressure Transient Insesitivity) 機能による優れた圧力変動耐性 (GF125 / GF135) 
・機械的可動部のないメンテナンスフリー構造。
・リアルタイムでのガス流量異常診断＆検出機能を搭載 (GF135) 
・ご要望に応じて配管延長や接続用継手もご用意できます。

■用途・最先端半導体製造プロセスのエッチャー、CVD、拡散炉
・最先端化合物半導体MO-CVD
・OEM / 多用なガス種、流量レンジへのMultiFloでの対応による使用ガスライン / 予備在庫数量削減
・PTI機能によるガスシステムの小型軽量化
・ガス流量異常診断＆検出機能で、クリティカルなプロセスガスでの長期安定流量制御

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
デジタルマスフローコントローラ /メーター GF100シリーズ

取扱企業
株式会社リガルジョイント

カテゴリ

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デジタルマスフローコントローラ /メーター GF100シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	流量	精度	繰り返し性と再現性	周囲温度範囲	応答性	外部リークレート	表面粗度	I / O	Multi-Flo	PTI
	GF100	要見積もり	3 sccm F.S ~ 50 slm N2換算	±1% S.P. (35 ~ 100%FS) ±0.35% F.S. (2 ~ 35%FS)	< ±0.15%R.D.	10 ~ 50℃	1s以下	1×10^-12 Pa・m^3 /s (He) 以下	0.25μm	0~5 Vdc / RS485 / DeviceNet	オプション	未対応