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シリーズ
デジタルマスフローコントローラ /メーター GF100シリーズ取扱企業
株式会社リガルジョイントカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量 | 精度 | 繰り返し性と再現性 | 周囲温度範囲 | 応答性 | 外部リークレート | 表面粗度 | I / O | Multi-Flo | PTI |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
GF100 |
要見積もり |
3 sccm F.S ~ 50 slm N2換算 |
±1% S.P. (35 ~ 100%FS) |
< ±0.15%R.D. |
10 ~ 50℃ |
1s以下 |
1×10^-12 Pa・m^3 /s (He) 以下 |
0.25μm |
0~5 Vdc / RS485 / DeviceNet |
オプション |
未対応 |
調節計をフィルターから探すことができます
使用用途
#エネルギー設備 #コーティング #バイオ医薬研究 #研究開発 #製造装置 #排水処理 #半導体製造 #薬液管理制御方式
PID制御型 ONOFF制御型 比例制御型 自己学習型表示機能
デジタル表示型 アナログ表示型構成形態
一体型 分離型入出力方式
リレー出力型 電圧出力型 電流出力型 SSR出力型入力レンジ ℃
0 - 200 200 - 1,800制御動作
AT付PID動作 ブリリアントⅡPID制御 エキスパートPID ON/OFF制御 PID動作 PD動作サンプリング周期
0.02 0.05 0.1 0.25 0.5信号源抵抗の影響
0.18 0.2 0.25
