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シリーズ
磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ取扱企業
株式会社大阪真空機器製作所カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 吸気口フランジ | 排気口フランジ | 排気速度 N2 (L/s) | 排気速度 N2 (保護金給付) (L/s) | 排気速度 H2 (L/s) | 最大圧縮比 N2 | 最大圧縮比 H2 | 最大ガス流量 N2 (sccm) | 到達圧力 VG·ISO-B/CF (Pa) | 到達圧力 VG·ISO-B/CF (Torr) | 起動時間 (min) | 停止時間 (min) | 許容補助圧力 Pa (Torr) | 推奨補助ポンプ (L/min) | 取付姿勢 | 質量 VG-ISO-B/CF (kg) | ターボコントローラー型式 | 入力電圧 (ACV) | 入力相数 | 入力周波数 (Hz) | 最大所要電力 (VA) | 出力周波数 (Hz) | 質力 (kg) | 通信規格 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
TG397M |
要見積もり |
VG100/ISO-8100/CF100 |
KF25 |
340 |
320 |
290 |
1×10^8 |
4.5×10^3 |
2,000 |
＜1×10^-6/1×10^-7 |
(＜7.5×10^-9/7.5×10^-10) |
2~2.5 |
2~3 |
400 (3.0) |
≧160 |
自在 |
16/19 |
TC0301M |
200~240 |
単相 |
50/60 |
400 |
680 |
8 |
Parallel I/O.RS232C・RS485 Profibus DeviceNet EtherCAT (ご指示が無い場合、Parallel I/Oとなります。) |
