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磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ-TG397M
磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ-株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ
株式会社大阪真空機器製作所

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この製品について

磁気軸受採用で完全オイルフリーの排気を得ることができ、 またメンテナンスサイクルが長いのも特長です。300L/s~3,400L/sクラスまでラインアップしています。

■省電力設計

稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能※オーバーホール時にコントローラを入れ替えても、データ引継ぎ可能

■特長

・多様な通信仕様:Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT ・国際規格適合:NRTL/SEMI-S2/CE

■用途

・半導体製造装置   ・FPD製造装置 ・太陽電池製造装置 ・ガラス/レンズ等の光学部品加工 ・フィルム加工 ・加速器/宇宙環境試験装置

  • シリーズ

    磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ

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磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 吸気口フランジ 排気口フランジ 排気速度 N2 (L/s) 排気速度 N2 (保護金給付) (L/s) 排気速度 H2 (L/s) 最大圧縮比 N2 最大圧縮比 H2 最大ガス流量 N2 (sccm) 到達圧力 VG·ISO-B/CF (Pa) 到達圧力 VG·ISO-B/CF (Torr) 起動時間 (min) 停止時間 (min) 許容補助圧力 Pa (Torr) 推奨補助ポンプ (L/min) 取付姿勢 質量 VG-ISO-B/CF (kg) ターボコントローラー型式 入力電圧 (ACV) 入力相数 入力周波数 (Hz) 最大所要電力 (VA) 出力周波数 (Hz) 質力 (kg) 通信規格
磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ-品番-TG397M

TG397M

要見積もり

VG100/ISO-8100/CF100

KF25

340

320

290

1×10^8

4.5×10^3

2,000

<1×10^-6/1×10^-7

(<7.5×10^-9/7.5×10^-10)

2~2.5

2~3

400 (3.0)

≧160

自在

16/19

TC0301M

200~240

単相

50/60

400

680

8

Parallel I/O.RS232C・RS485 Profibus DeviceNet EtherCAT (ご指示が無い場合、Parallel I/Oとなります。)

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社大阪真空機器製作所は、1950年創業の真空機器・真空ポンプメーカーです。 製品としては、ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプ、ルーツ真空ポンプ等を取り扱っています。また、製品の製造・販売だけでなく、メンテナンスサ...

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  • 本社所在地: 大阪府
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