スマート膜厚計 SM-100P/SM-100S
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この製品について

■スマート膜厚計とは「測りたい“その場”ですぐに測れない」、「人によってバラつく測定結果」、「測定精度が悪い」。膜厚を測定するときに、このような経験はありませんか。スマート膜厚計は下記のような特徴があり、皆様のお困りごとを解決します。

■特徴・「持ち運び可能なハンディタイプ」：1.1 kgと軽く、持ち運びも簡単。
・「高精度測定＆簡単測定」：最薄0.1 μmまで検量線不要で測定できます。
・「多層膜も対応」3層までの多層膜を測定できます。
・「非破壊・非接触測定」：サンプルを傷つけることもなく測定します。
・「様々なサンプルを測定」：基材 (ガラス・プラスチック) を選ばず測定可能。

■膜厚の測定原理：反射分光法 (光干渉法) スマート膜厚計は反射分光法 (光干渉法) という方式で膜厚測定します。例えば、基板上にコーティングされた膜を測定する場合、対象サンプル上方から入射した光は膜表面で反射します。さらに膜を透過した光が基板や膜界面で反射します。このときの光路差による位相のずれ (位相差) によって起こる光干渉現象を測定し、得られた反射スペクトルと屈折率から膜厚を求めることが出来ます。

■分かりやすく操作しやすいインターフェーススマート膜厚計はシンプルで直感的なインターフェースを採用しています。初めての方でも簡単に測定出来ます。

オプション
■ペン型プローブ狭い箇所や形状があるサンプルでも測定可能です。

■非接触ステージウェットな膜や半導体ウエハのように接触したくないサンプルを、プローブの位置を自由に設定して、非接触で測定可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
スマート膜厚計 SM-100P/SM-100S

取扱企業
大木理工機材株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

膜厚計

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スマート膜厚計 SM-100P/SM-100S 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	メーカー	測定繰り返し性	測定スポット径	データ出力形式	測定方法	測定膜厚範囲	多層対応	項目	外寸法 (幅×奥行×高さ)	備考 (寸法)	重さ	商品コード
	SM-100P	^¥2,500,000	ヤマト科学	2.1σ　0.01 µm (シリコン酸化膜1 µm)	Φ1 mm以下	USBメモリにテキスト形式でエクスポート	反射分光法 (光干渉法)	0.1~100 µm サンプル屈折率が1.6の場合	最大3層	Pro	138×198×54mm	突起部含む	1.1kg	540001