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シンプルな部品構成で小型化を実現 角型ゲートバルブ Small Size Rollcam Gate Valve-Small Size Rollcam Gate Valve
シンプルな部品構成で小型化を実現 角型ゲートバルブ Small Size Rollcam Gate Valve-株式会社ブイテックス

シンプルな部品構成で小型化を実現 角型ゲートバルブ Small Size Rollcam Gate Valve
株式会社ブイテックス

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標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。ブイテックスは豊富な経験をもとに、お客様のニーズに応じて小ロットからカスタマイズで製作が可能です。 ブイテックスの角型ゲートバルブについて

■特長

・真空となるバルブ内部には金属同士の摺動部がありません。 ・シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です ・弁体シール面が垂直のため、異物噛み込みのリスクが最小です。 ・標準仕様は動作回数100万回まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。 ・弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。

■角型ゲートバルブの使用例

・真空チャンバーのワーク出入口に設置します。 ・角型ゲートバルブ：ワーク (ウエハーやガラス基板etc) の出入り口として大気-チャンバー間、チャンバー-チャンバー間の仕切りとして使用されます。

■Small Size Rollcam Gate Valve

・真空内無摺動構造：真空内グリス不使用、パーティクルフリー ・低価格：部品点数を極限まで減らし、低価格化を実現 ・長寿命

  • シリーズ

    シンプルな部品構成で小型化を実現 角型ゲートバルブ Small Size Rollcam Gate Valve

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シンプルな部品構成で小型化を実現 角型ゲートバルブ Small Size Rollcam Gate Valve 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) リーク量 使用温度 開閉時間 材質 操作圧力 寿命 対応口径 その他 オプション
シンプルな部品構成で小型化を実現 角型ゲートバルブ Small Size Rollcam Gate Valve-品番-Small Size Rollcam Gate Valve

Small Size Rollcam Gate Valve

要見積もり

本体：4.0×10-11[pa・m3/s]
弁体：1.3×10-10[pa・m3/s]

本体/弁体：90℃
Actuator：60℃

1.0-3.0s

本体：アルミニウム A5052
弁体：アルミニウム A5052
シール材：FKM
ベローズ：AM350

0.45-0.55MPa

100万回

16~50A

逆圧保持用ロックピン

本体および弁体材質の変更
シール材質の変更
表面処理の追加

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使用用途

#半導体製造 #液晶製造 #真空搬送

操作方式

手動式 空圧式 電動式

接続方式

フランジ接続

特殊機能

ベローズシール型 高温対応型 クリーン対応型

Cv

0 - 5 5 - 10 10 - 50

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会社概要

株式会社ブイテックスは、1949年に設立されたバルブメーカーです。 一般社団法人日本バルブ工業会や一般社団法人日本真空工業会に加盟し、真空バルブの製造及び販売を主な事業内容としており、国際品質規格であるISO9001を...

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