シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ True L-Motion Gate Valve-True L-Motion Gate Valve

シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ True L-Motion Gate Valve
株式会社ブイテックス

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標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。ブイテックスは豊富な経験をもとに、お客様のニーズに応じて小ロットからカスタマイズで製作が可能です。

ブイテックスの角型ゲートバルブについて
■特長・真空となるバルブ内部には金属同士の摺動部がありません。
・シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です
・弁体シール面が垂直のため、異物噛み込みのリスクが最小です。
・標準仕様は動作回数100万回まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。
・弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。

■角型ゲートバルブの使用例・真空チャンバーのワーク出入口に設置します。
・角型ゲートバルブ：ワーク (ウエハーやガラス基板etc) の出入り口として大気-チャンバー間、チャンバー-チャンバー間の仕切りとして使用されます。

■True L-Motion Gate Valve・微細化する半導体プロセスに対応
・低振動：OPEN/CLOSE動作時の低振動化を実現
・低パーティクル：新機構により低発塵化を実現

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ True L-Motion Gate Valve

取扱企業
株式会社ブイテックス

カテゴリ

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シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ True L-Motion Gate Valve 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	リーク量	使用温度	開閉時間	材質	操作圧力	寿命	オプション
	True L-Motion Gate Valve	要見積もり	本体：4.0×10-11[pa・m3/s] 弁体：1.3×10-10[pa・m3/s]	本体/弁体：90℃ Actuator：60℃	1.0-3.0s	本体：アルミニウム A5052 弁体：アルミニウム A5052 シール材：FKM ベローズ：AM350	0.45-0.55MPa	100万回	シール材質の変更表面処理の追加

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株式会社ブイテックスは、1949年に設立されたバルブメーカーです。一般社団法人日本バルブ工業会や一般社団法人日本真空工業会に加盟し、真空バルブの製造及び販売を主な事業内容としており、国際品質規格であるISO9001を...

本社所在地: 東京都

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