シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ True L-Motion Gate Valve-True L-Motion Gate Valve

シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ True L-Motion Gate Valve
株式会社ブイテックス

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この製品について

標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。ブイテックスは豊富な経験をもとに、お客様のニーズに応じて小ロットからカスタマイズで製作が可能です。

ブイテックスの角型ゲートバルブについて
■特長・真空となるバルブ内部には金属同士の摺動部がありません。
・シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です
・弁体シール面が垂直のため、異物噛み込みのリスクが最小です。
・標準仕様は動作回数100万回まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。
・弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。

■角型ゲートバルブの使用例・真空チャンバーのワーク出入口に設置します。
・角型ゲートバルブ：ワーク (ウエハーやガラス基板etc) の出入り口として大気-チャンバー間、チャンバー-チャンバー間の仕切りとして使用されます。

■True L-Motion Gate Valve・微細化する半導体プロセスに対応
・低振動：OPEN/CLOSE動作時の低振動化を実現
・低パーティクル：新機構により低発塵化を実現

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ True L-Motion Gate Valve

取扱企業
株式会社ブイテックス

カテゴリ

弁

真空バルブ

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真空ゲートバルブ

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ゲートバルブ

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シンプルな部品構成で小型化を実現角型ゲートバルブ True L-Motion Gate Valve 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	リーク量	使用温度	開閉時間	材質	操作圧力	寿命	オプション
	True L-Motion Gate Valve	要見積もり	本体：4.0×10-11[pa・m3/s] 弁体：1.3×10-10[pa・m3/s]	本体/弁体：90℃ Actuator：60℃	1.0-3.0s	本体：アルミニウム A5052 弁体：アルミニウム A5052 シール材：FKM ベローズ：AM350	0.45-0.55MPa	100万回	シール材質の変更表面処理の追加