丸型ゲートバルブをコンパクト化ペンドロールバルブ APC
株式会社ブイテックス

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この製品について

ISO・JISのフランジ規格に対応します。お客様の用途・プロセスに合わせ、3種のタイプをラインナップしています。

■APCコンダクタンス0まで調整可能な圧力制御バルブ。対応サイズ：160A～350A

ブイテックスのペンドロールバルブについて
■IPV・3PV・APCタイプ (共通) ・ワンアクションにより確実に動作します。
・シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です。
・標準仕様はFullClose/FullOpen動作回数50万回 (APCの場合20万回) まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。
・弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。
・弁体部はボルト1本で取り外し可能です。

■APCタイプの特徴・専用コントローラーには、チャンバー容積に最適なパラメータを算出するラーン機能を搭載しています。
・高速制御で正確な圧力制御とポジション制御が可能です。
・2台まで圧力センサーの接続が可能です。
・コンダクタンスゼロ制御が可能です。
・低真空制御時には少ないガス流量でも圧力制御が可能です。
・コンダクタンスゼロ中はガスが排気されないので、貴重なプロセスガスを節約できます。

■ペンドロールバルブの使用例真空チャンバーと排気ポンプ間に排気系バルブとして設置します。ロードロックチャンバーやトランスファーチャンバーには、IPVが使用されます。 プロセスチャンバーには、一定のコンダクタンスを維持する3PVや変動する圧力を一定に保つAPCが使用されます。

■シミュレーションチャンバ容量・ガス流量・目標圧力・排気速度をご教示いただければ、Chamberが無くてもシミュレーション可能です。 (特許第5424721号) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
丸型ゲートバルブをコンパクト化ペンドロールバルブ APC

取扱企業
株式会社ブイテックス

カテゴリ

弁

真空ゲートバルブ

弁

ゲートバルブ

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丸型ゲートバルブをコンパクト化ペンドロールバルブ APC 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対応口径	Heリーク量 (シール部材質 FKMの場合)	使用温度	操作圧力	保証期間	バルブ寿命	開閉時間	材質	制御ユニット	オプション
	APC	要見積もり	160~350A	弁体部：1.3×10-^10[Pa・m^3/s] 外部 (本体) ：4.0×10-^10[Pa・m^3/s]	90℃ (駆動部：60℃)	電動	12ヶ月	開閉：20万回 (全閉しない場合の寿命は100万回です。)	1.0-3.0s	本体：アルミニウム A5052 弁体：アルミニウム A5052 シール材：FKM	当社製コントローラー	シール材質の変更加熱仕様 (本体) 表面処理 (硬質アルマイト等)