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87.5時間
シリーズ
丸型ゲートバルブをコンパクト化 ペンドロールバルブ APC取扱企業
株式会社ブイテックスカテゴリ
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真空ゲートバルブの製品63点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応口径 | Heリーク量 (シール部材質 FKMの場合) | 使用温度 | 操作圧力 | 保証期間 | バルブ寿命 | 開閉時間 | 材質 | 制御ユニット | オプション |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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APC |
要見積もり |
160~350A |
弁体部:1.3×10-^10[Pa・m^3/s] |
90℃ (駆動部:60℃) |
電動 |
12ヶ月 |
開閉:20万回 |
1.0-3.0s |
本体:アルミニウム A5052 |
当社製コントローラー |
シール材質の変更 |
真空ゲートバルブをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #大型ディスプレイ製造 #排気制御 #圧力調整 #ワーク搬送駆動方式
手動型 空圧型 電動型構造形式
スロット型 ラウンド型シール方式
メタルシール型 エラストマーシール型 ハイブリッドシール型呼び口径 mm
100 - 125 125 - 150 150 - 350 350 - 400ベーキング許容温度 ℃
0 - 80 80 - 120 120 - 150 150 - 200バルブ寿命 回
0 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000 500,000 - 1,000,000 1,000,000 - 3,000,000使用温度 ℃
-50 - 0 0 - 50 50 - 80 80 - 100 100 - 150開放コンダクタンス L/s
0 - 100 100 - 10,000 10,000 - 50,000