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シリーズ
高周波電源 真空プラズマ装置 US-80A取扱企業
株式会社魁半導体カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 外形寸法 | 重量 | 操作系 | 処理圧力調整 | 処理量 | ガス導入 | 電源 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
US-80A |
要見積もり |
W745mm、D695mm、H1,445mm (蓋閉時、突起部含まず) |
約250kg |
タッチパネル |
APCによるプロセス圧力自動制御 |
80本 / バッチ (アイボーイ500mLボトル (直径75mm、高さ160mm) 使用時) |
1系統、MFCによる流量自動制御 |
13.56MHz max.1kW |