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高周波電源 真空プラズマ装置 US-80A取扱企業
株式会社魁半導体カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 外形寸法 | 重量 | 操作系 | 処理圧力調整 | 処理量 | ガス導入 | 電源 |
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US-80A |
要見積もり | W745mm、D695mm、H1,445mm (蓋閉時、突起部含まず) | 約250kg | タッチパネル | APCによるプロセス圧力自動制御 | 80本 / バッチ (アイボーイ500mLボトル (直径75mm、高さ160mm) 使用時) | 1系統、MFCによる流量自動制御 | 13.56MHz max.1kW |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。