大気圧 (リモート) ペン型大気圧プラズマ装置 P500-SM
株式会社魁半導体

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この製品について

■製品概要・表面改質：大気圧環境下において、電荷のダメージがないプラズマを安定に生成
・ワイヤーボンディング：強度の向上に最適です。
・その他：バイオ・医療分野にも

■製品の特徴・熱によるダメージは殆どありません。
→熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。
 (条件によってはサンプル表面を40℃程度に。)  

・コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。
→処理対象物へ電荷のダメージを与えません。

・推奨ガスは窒素のみ。
・AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。
・ラボ用装置としてもご利用頂けます。
・微細な表面処理に特化
・メンテナンスも容易です。

■設定台と組み合わせ【ペン用架台】
トーチを設置台に取り付ける作業が可能
・サイズ 高さ600mm×アーム長さ200mm
・重量 2kg
・価格 ￥8,800-  (税別)  

■用途・ワイヤーボンディングの前処理
LSIにダメージを与えることなく、電極の表面を洗浄しボンディング性能を向上
・ガラス基板洗浄
光学ガラスや電子デバイス製作用の基板に付着した有機物の洗浄
・金属薄膜への処理
絶縁体上の金属薄膜へもダメージ無く親水化  (コロナ放電では不可能)  

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
大気圧 (リモート) ペン型大気圧プラズマ装置 P500-SM

取扱企業
株式会社魁半導体

カテゴリ

加工・工作機器

大気圧プラズマ装置

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大気圧 (リモート) ペン型大気圧プラズマ装置 P500-SM 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	プラズマペン材質 (本体)	プラズマペン重量 (g)	プラズマペン外形寸法 (突起部含まず) (mm)	コントロール部重量 (Kg)	コントロール部寸法 (mm)	コントロール部機能	使用環境許容温度範囲	使用環境使用禁止薬液	使用環境使用ガス
	P500-SM	要見積もり	樹脂、石英、金属 (場合によってことなります)	約100	約φ20×約100	約3	160 (W) ×245 (D) ×110 (H)	オプションにて流量計等を対応	-10℃~+60℃	有機溶媒強塩基類強酸類強酸化材	窒素