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大気圧 (リモート) ペン型大気圧プラズマ装置 P500-SM-P500-SM
大気圧 (リモート) ペン型大気圧プラズマ装置 P500-SM-株式会社魁半導体

大気圧 (リモート) ペン型大気圧プラズマ装置 P500-SM
株式会社魁半導体

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この製品について

■製品概要

・表面改質:大気圧環境下において、電荷のダメージがないプラズマを安定に生成 ・ワイヤーボンディング:強度の向上に最適です。 ・その他:バイオ・医療分野にも

■製品の特徴

・熱によるダメージは殆どありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によってはサンプル表面を40℃程度に。) ・コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。 ・推奨ガスは窒素のみ。 ・AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。 ・ラボ用装置としてもご利用頂けます。 ・微細な表面処理に特化 ・メンテナンスも容易です。

■設定台と組み合わせ

【ペン用架台】 トーチを設置台に取り付ける作業が可能 ・サイズ 高さ600mm×アーム長さ200mm ・重量 2kg ・価格 ¥8,800- (税別)

■用途

・ワイヤーボンディングの前処理 LSIにダメージを与えることなく、電極の表面を洗浄しボンディング性能を向上 ・ガラス基板洗浄 光学ガラスや電子デバイス製作用の基板に付着した有機物の洗浄 ・金属薄膜への処理 絶縁体上の金属薄膜へもダメージ無く親水化 (コロナ放電では不可能)

  • シリーズ

    大気圧 (リモート) ペン型大気圧プラズマ装置 P500-SM

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大気圧 (リモート) ペン型大気圧プラズマ装置 P500-SM 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) プラズマペン 材質 (本体) プラズマペン 重量 (g) プラズマペン 外形寸法 (突起部含まず) (mm) コントロール部 重量 (Kg) コントロール部 寸法 (mm) コントロール部 機能 使用環境 許容温度範囲 使用環境 使用禁止薬液 使用環境 使用ガス
大気圧 (リモート) ペン型大気圧プラズマ装置 P500-SM-品番-P500-SM

P500-SM

要見積もり

樹脂、石英、金属 (場合によってことなります)

約100

約φ20×約100

約3

160 (W) ×245 (D) ×110 (H)

オプションにて流量計等を対応

-10℃~+60℃

有機溶媒 強塩基類 強酸類 強酸化材

窒素

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府
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