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環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | エネルギー分析器 | X線源 | 中和銃 | イオン銃 | 排気システム | 試料環境圧力 | ガス導入システム | カメラ | 自動制御/ソフトウェア | 試料ステージ | 試料サイズ | 導入ガス | 試料クリーニング | 観察カメラ | 予備ポート |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
EnviroESCA |
要見積もり |
静電半球型エネルギー分析器 半径150 mm |
Al-Kα マイクロフォーカス・モノクロメータ |
低エネルギー電子銃 (差動排気仕様) |
微小スポット・イオン銃 (走査可能、200eV~5keV) (差動排気仕様) |
ターボ分子ポンプ |
アナライザのアパーチャ径で調整 |
試料分析部分に2系統のガス導入 |
試料観察用デジタル顕微鏡3台 |
完全自動排気 |
高精度3軸ステージ |
直径 60mm |
プロセス用 |
ダウンストリームRFプラズマ |
デジタル顕微鏡 |
DN40CF (2,75”) X2 |
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