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環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA-EnviroESCA
環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA-株式会社東京インスツルメンツ

環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA
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この製品について

■特長

・試料環境を低真空～高真空まで制御 ・固体から溶液、バイオ試料も測定可能 ・大型試料測定：最大Φ60 mm、高さ40 mm ・試料環境の制御 (雰囲気・温度) 、測定が全自動 ・簡単試料導入 ・全自動で試料搬送から測定までをバッチ処理 ・ロボットによる無人自動搬送・自動測定 ・ディレイライン検出器：最大400 ch ・グローブボックスと接続可能 ・オールインワン設計

■用途・アプリケーション

・Operando、In-situ 測定 ・液体分析 ・気液界面の化学反応分析 ・固液界面測定 ・触媒反応 ・金属の腐食反応 ・エネルギー材料とデバイス、動作中の電池反応 ・医療、生体適合材料 ・塗膜、メッキ膜 ・バイオサンプル ・土壌、鉱物 ・樹脂 ・セラミックス ・プラスチック ・宇宙科学、宇宙生物学 ・繊維、布 ・ナノマテリアル ・エレクトロニクス ・磁気記録媒体ほか

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    環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA

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環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) エネルギー分析器 X線源 中和銃 イオン銃 排気システム 試料環境圧力 ガス導入システム カメラ 自動制御/ソフトウェア 試料ステージ 試料サイズ 導入ガス 試料クリーニング 観察カメラ 予備ポート
環境制御 X線光電子分光装置 EnviroESCA-品番-EnviroESCA

EnviroESCA

要見積もり

静電半球型エネルギー分析器 半径150 mm
差動排気レンズシステム、ディレライン検出器 最大400チャンネル

Al-Kα マイクロフォーカス・モノクロメータ
ローランド円直径600 mm
測定位置でのスポットサイズ200µm~1mm (可変)

低エネルギー電子銃 (差動排気仕様)

微小スポット・イオン銃 (走査可能、200eV~5keV) (差動排気仕様)
クラスターガスイオンガン

ターボ分子ポンプ
オイルフリーポンプ
化学耐性ポンプシステム (オプション)

アナライザのアパーチャ径で調整
(直径300μmの時、最大圧力100mbar、他のアパーチャ径にも特注対応)

試料分析部分に2系統のガス導入
マスフローコントローラ

試料観察用デジタル顕微鏡3台

完全自動排気
ガス導入システム
最新のソフトウェアパッケージ

高精度3軸ステージ

直径 60mm
高さ 40mm

プロセス用
パージ用

ダウンストリームRFプラズマ

デジタル顕微鏡

DN40CF (2,75”) X2
例) 電気配線、溶液導入

フィルターから探す

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使用用途

#元素分析 #構造解析 #研究開発 #マッピング #異物検出 #微小部測定 #粉末試料 #薄膜

検出器

FPD HPC検出器 シリコンドリフト検出器

測定可能なq範囲 nm-1

0 - 30 30 - 50

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