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分光計測 真空紫外から深紫外までの透過、反射、散乱、吸収測定用システム 波長範囲:120~350nm 真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ-VUVAS1000
分光計測 真空紫外から深紫外までの透過、反射、散乱、吸収測定用システム 波長範囲:120~350nm 真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ-株式会社東京インスツルメンツ

分光計測 真空紫外から深紫外までの透過、反射、散乱、吸収測定用システム 波長範囲:120~350nm 真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ
株式会社東京インスツルメンツ

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この製品について

■製品概要

VUVASシリーズ真空紫外分光光度計は真空もしくは窒素パージ中で、光学素子、コーティング、フォトレジスト材料、基板などの反射・透過特性測定をおこなうシステムで、分光器、MgF2窓付重水素光源、集光光学系、試料室、検出器から構成されています。 高品質の光学部品による高いスループットは、優れた再現性と高い信号レベルを達成し、高S/N比で測定がおこなえます。

■特長

・対応波長領域:120~350 nm ・精度:0.05% (@157 nm) ・真空度:10^-6 Torr ・窒素パージでの使用可能 ・リファレンス用、サンプル測定用の2つの検出器搭載 (VUVAS2000) ・フィルターホールも装着可能

  • シリーズ

    分光計測 真空紫外から深紫外までの透過、反射、散乱、吸収測定用システム 波長範囲:120~350nm 真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ

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分光計測 真空紫外から深紫外までの透過、反射、散乱、吸収測定用システム 波長範囲:120~350nm 真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定波長領域 真空度 窒素パージシステム 精度 (RSD、@157nm) 精度 (RSD、全体) 安定性 (1時間あたり) バンドパス 波長校正精度 波長繰返し精度 ステップ幅 検出器設置角度 (可変) サンプル設置角度 (可変)
分光計測 真空紫外から深紫外までの透過、反射、散乱、吸収測定用システム 波長範囲:120~350nm 真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ-品番-VUVAS1000

VUVAS1000

要見積もり

120~350 nm

10^-4 Torr

オプション

0.25%

<0.5%

<1%

1~8 nm

0.1 nm

0.05 nm

0.00006 nm

10~180°

0~60°

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 東京都
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