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プラズマ処理装置の製品55点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 高周波出力電力 | 炉体 形状 | 炉体 炉体寸法 | 炉体 材質 | 炉体 覗き窓 | 炉体 到達真空度 | ユーテリティー 電力 | ユーテリティー 冷却水 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
RPT-3000-05 |
要見積もり |
0~500W |
横置き前面扉方式 |
約φ500mm×500mm |
アルミ製 |
有効径φ100mm |
常用1×10-2 torr |
3相 AC200V 約4.5kVA |
3L/」min以上 |