ナノパターン露光装置 PhableR 100
株式会社協同インターナショナル
この製品について
■ナノパターニング技術とは
ナノメートルは、10-9メートル (m) ＝10億分の1メートルの長さの単位です。現在の電子デバイスでは、ナノメートル領域の技術が使われており、半導体産業ではナノテクノロジーという言葉が一般的に用いられるようになっています。このようなナノメートルの領域でパターン加工する技術には、電子ビーム、リソグラフィ、ナノインプリント、自己組織化などいくつかの方法が実用化されていますが、極小の加工を実現する上では、位置精度、再現性、コスト、加工時間など様々な課題があります。■PhableR 100は、300nmピッチ以下の高解像度を実現
PhableR 100 は、EULITHA社独自の露光技術であるPHABLE (Photonics Enablerの短縮形) に基づいたシステムであり、高解像度の周期的構造の、ノンコンタクトのプロキシミティ露光を可能とします。 ・PhablerR 100は、本質的にDUV投影露光システムと同等の解像度を、複雑で高価な光学系や機械構造なしに実現します。 ・一般的なマスクアライナーが1-2umの解像度に留まるのに対し、ハーフピッチ150nmのリニアグレーティングが高い均一性で作成可能です。 ・リニアまたは曲面グレーティングや、六角形/四角形のシンメトリーな2Dフォトニック結晶パターンが300nm以下の周期で転写出来ます。 ・全面露光 ・マスクと基板は手動で装置にセットされ、露光プロセスは搭載されたコンピュータによって制御されます。■ノンコンタクト マスクをダメージやコンタミネーションから保護
プロキシミティまたはコンタクトモードにすれば通常のマスクアライナーとしても使用でき、ミクロンスケールの構造も転写可能です。-
シリーズ
ナノパターン露光装置 PhableR 100
-
取扱企業
株式会社協同インターナショナル
-
カテゴリ
露光装置注目ランキング
もっと見る
露光装置の製品22点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
露光装置注目ランキング (対応の早い企業)
平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
ナノパターン露光装置 PhableR 100 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 解像度 | 基板サイズ | マスクフォーマット | 照度均一性 | ピッチレンジ | レジスト厚 | オペレーション | コントロール |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
PhableR 100 |
要見積もり | 150nm ハーフピッチ (リニアグレーティング) DUV光源選択時 75nmハーフピッチ (リニアグレーティング) | ~φ100mm | 5" | ＜3% | 300nm~3µm (DUV光源選択時 150nm~) | 1µm程度 | 手動ローディング – 自動露光 | タッチパネル |
