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ナノパターン露光装置 PhableR 100取扱企業
株式会社協同インターナショナルカテゴリ
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半導体露光装置の製品15点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 解像度 | 基板サイズ | マスクフォーマット | 照度均一性 | ピッチレンジ | レジスト厚 | オペレーション | コントロール |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
PhableR 100 |
要見積もり |
150nm ハーフピッチ (リニアグレーティング) DUV光源選択時 75nmハーフピッチ (リニアグレーティング) |
~φ100mm |
5" |
<3% |
300nm~3µm (DUV光源選択時 150nm~) |
1µm程度 |
手動ローディング – 自動露光 |
タッチパネル |