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シリーズ
大型基板向け自動マスクアライナー 量産用 Model6020取扱企業
株式会社協同インターナショナルカテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板 対応サイズ | マスク 対応サイズ | アライメント ステージコントロール | アライメント 精度 | 露光 時間 | 露光 モード 解像度 | 付帯設備 | サイズ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
産用 Model6020 |
要見積もり |
12インチ角 – 20インチ角まで |
14インチ角 – 24インチ角まで |
Z動作 : 1,500µm |
片面：0.5μm 両面：1μm |
1s-999s ( 0.1s間隔) |
プロキシミティ：5μm ソフトコンタクト：3－5μm ハードコンタクト：2－3μm バキュームコンタクト：＜2μm |
電源 : 400V もしくは 208V, 3P5ワイヤー 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
71,530mmH×76,825mmW×36,290mmD |
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FPD露光装置の製品36点中、注目ランキング上位6点
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FPD露光装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ露光方式
マスク露光型 スキャン露光型 マスクレス露光型光源種類
水銀ランプ型 エキシマレーザー型 LED光源型解像方式
接触露光型 近接露光型 投影露光型搬送方式
ステージ移動型 ロール搬送型対応サイズ
大型基板対応型 中小型基板対応型最小露光線幅 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20光源波長 nm
200 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 500 500 - 1,100露光領域 mm
0 - 50 50 - 150 150 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,100対物レンズ倍率 倍
0 - 5 5 - 15 15 - 50 50 - 100 100 - 150露光時間ショットあたり 秒
0 - 5 5 - 10 10 - 15消費電力 kW
0 - 3 3 - 6
