大型基板向け自動マスクアライナー 量産用 Model6020
株式会社協同インターナショナル
この製品について
■マスクアライナー
マスクアライナーとは紫外線を用いて試料に微細なパターンを転写・焼付する装置で、マスクアライメント装置とも呼ばれます。基板素材はシリコン、ガラス、セラミック、ガリウムヒ素、推量など多岐にわたっています。一般的にトランジスタ、ICなどの半導体素子製造に使用される場合がほとんどですが、LCDガラスのパターン形成や水晶発振子の製造などにも用いられます。 OAI社のマスクアライナーは世界中でR&Dおよび量産向けに使用されています。信頼性、耐久性、技術優位性の面で他社製品より優れているとお客様からの評価を頂いています。特にコストパフォーマンスに優れたマスクアライナーとして定評があります。 オプションでコントローラ、チャックを追加するだけで「マイクロ流体チップの製造」「UVナノインプリント」が可能な装置へアップグレードさせることができます。半導体、ディスプレイ、MEMS、マイクロ流体、ナノインプリント、医療/バイオ、太陽電池 (ソーラー) 用途に最適です。■OAI社製品の特徴
・コンパクトなテーブルトップ装置で、R&D用途からセミ/フルオートマティックの量産対応機まで豊富なラインナップ。 ・ライトソースのみの販売も行っております。 ・永年の製造経験に基づき、充分にテスト・検証されたモジュラー部品を組み上げる事により、経済的かつ信頼性・拡張性に優れたシステムを提供。 ・半導体リソグラフィー、マイクロ流体、ナノインプリント、MEMS、UV硬化 (キュア) 、バイオテクノロジー、太陽電池 (ソーラー) 、抵抗特性評価など。-
シリーズ
大型基板向け自動マスクアライナー 量産用 Model6020
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取扱企業
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カテゴリ
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大型基板向け自動マスクアライナー 量産用 Model6020 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板 対応サイズ | マスク 対応サイズ | アライメント ステージコントロール | アライメント 精度 | 露光 時間 | 露光 モード 解像度 | 付帯設備 | サイズ |
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産用 Model6020 |
要見積もり | 12インチ角 – 20インチ角まで | 14インチ角 – 24インチ角まで | Z動作 : 1,500µm | 片面：0.5μm 両面：1μm | 1s-999s ( 0.1s間隔) | プロキシミティ：5μm ソフトコンタクト：3－5μm ハードコンタクト：2－3μm バキュームコンタクト：＜2μm | 電源 : 400V もしくは 208V, 3P5ワイヤー 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン | 71,530mmH×76,825mmW×36,290mmD |
