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大型基板向け自動マスクアライナー 量産用 Model6020-産用 Model6020
大型基板向け自動マスクアライナー 量産用 Model6020-株式会社協同インターナショナル

大型基板向け自動マスクアライナー 量産用 Model6020
株式会社協同インターナショナル

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この製品について

Model 6020は大きめのフォーマットに適したマスクアライメント露光システムです。フラットパネルディスプレイやその他の大型基板 (最大20″×20″まで) のプロセス需要に対応します。

■マスクアライナー

マスクアライナーとは紫外線を用いて試料に微細なパターンを転写・焼付する装置で、マスクアライメント装置とも呼ばれます。基板素材はシリコン、ガラス、セラミック、ガリウムヒ素、推量など多岐にわたっています。一般的にトランジスタ、ICなどの半導体素子製造に使用される場合がほとんどですが、LCDガラスのパターン形成や水晶発振子の製造などにも用いられます。 OAI社のマスクアライナーは世界中でR&Dおよび量産向けに使用されています。信頼性、耐久性、技術優位性の面で他社製品より優れているとお客様からの評価を頂いています。特にコストパフォーマンスに優れたマスクアライナーとして定評があります。 オプションでコントローラ、チャックを追加するだけで「マイクロ流体チップの製造」「UVナノインプリント」が可能な装置へアップグレードさせることができます。半導体、ディスプレイ、MEMS、マイクロ流体、ナノインプリント、医療/バイオ、太陽電池 (ソーラー) 用途に最適です。

■OAI社製品の特徴

・コンパクトなテーブルトップ装置で、R&D用途からセミ/フルオートマティックの量産対応機まで豊富なラインナップ。 ・ライトソースのみの販売も行っております。 ・永年の製造経験に基づき、充分にテスト・検証されたモジュラー部品を組み上げる事により、経済的かつ信頼性・拡張性に優れたシステムを提供。 ・半導体リソグラフィー、マイクロ流体、ナノインプリント、MEMS、UV硬化 (キュア) 、バイオテクノロジー、太陽電池 (ソーラー) 、抵抗特性評価など。

  • シリーズ

    大型基板向け自動マスクアライナー 量産用 Model6020

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大型基板向け自動マスクアライナー 量産用 Model6020 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基板 対応サイズ マスク 対応サイズ アライメント ステージコントロール アライメント 精度 露光 時間 露光 モード 解像度 付帯設備 サイズ
大型基板向け自動マスクアライナー 量産用 Model6020-品番-産用 Model6020

産用 Model6020

要見積もり

12インチ角 – 20インチ角まで

14インチ角 – 24インチ角まで

Z動作 : 1,500µm

片面:0.5μm 両面:1μm

1s-999s ( 0.1s間隔)

プロキシミティ:5μm ソフトコンタクト:3-5μm ハードコンタクト:2-3μm バキュームコンタクト:<2μm

電源 : 400V もしくは 208V, 3P5ワイヤー 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン

71,530mmH×76,825mmW×36,290mmD

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使用用途

#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社協同インターナショナルは、業種に拘わらずオンリーワンの製品を通して企業の抱える課題解決策を提案することを企業理念に、 業種、業態、国境の壁を越えた事業を手掛けています。 半導体に関するビジネスを中心に研究開発か...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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