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セミオート両面マスクアライナー R&D/少量産 Model800E取扱企業
株式会社協同インターナショナルカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板 対応サイズ | マスク 対応サイズ | アライメント ステージコントロール | アライメント 精度 | 露光 時間 | 露光 モード 解像度 | 付帯設備 | サイズ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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R&D/少量産 Model800E |
要見積もり |
8インチ角 まで |
9インチ角 まで |
XY 動作 : ±5mm 回転 : ±4° |
片面：0.5~1µm 両面：＜2µm (3σ) |
1s-3,200s ( 0.1s間隔) |
プロキシミティ：3-5μm (15-20μmギャップ) ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm |
電源 : 220V 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
1,810mmH×1,270mmW×912mmD |
