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シリーズ
セミオート両面マスクアライナー R&D/少量産 Model800E取扱企業
株式会社協同インターナショナルカテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板 対応サイズ | マスク 対応サイズ | アライメント ステージコントロール | アライメント 精度 | 露光 時間 | 露光 モード 解像度 | 付帯設備 | サイズ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
R&D/少量産 Model800E |
要見積もり |
8インチ角 まで |
9インチ角 まで |
XY 動作 : ±5mm 回転 : ±4° |
片面：0.5~1µm 両面：＜2µm (3σ) |
1s-3,200s ( 0.1s間隔) |
プロキシミティ：3-5μm (15-20μmギャップ) ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm |
電源 : 220V 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
1,810mmH×1,270mmW×912mmD |
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FPD露光装置の製品36点中、注目ランキング上位6点
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FPD露光装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ露光方式
マスク露光型 スキャン露光型 マスクレス露光型光源種類
水銀ランプ型 エキシマレーザー型 LED光源型解像方式
接触露光型 近接露光型 投影露光型搬送方式
ステージ移動型 ロール搬送型対応サイズ
大型基板対応型 中小型基板対応型最小露光線幅 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20光源波長 nm
200 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 500 500 - 1,100露光領域 mm
0 - 50 50 - 150 150 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,100対物レンズ倍率 倍
0 - 5 5 - 15 15 - 50 50 - 100 100 - 150露光時間ショットあたり 秒
0 - 5 5 - 10 10 - 15消費電力 kW
0 - 3 3 - 6
