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マニュアル式片面テーブルトップ大面積マスクアライナー R&D用 Model 212取扱企業
株式会社協同インターナショナルカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板 対応サイズ | マスク 対応サイズ | アライメント ステージコントロール | 露光 時間 | 露光 モード 解像度 | 付帯設備 | サイズ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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R&D用 Model 212 |
要見積もり |
12インチ角まで |
14インチ角まで |
XY 動作 : ±10mm Z 動作 : 5mm 回転 : ± 3.5° |
0.1s~99.0s (0.1s間隔) もしくは 1s~999s (1s間隔) |
プロキシミティ : 5µm (20µm ギャップ) ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm |
電源 : 110V もしくは 220V ( 仕様による) 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
1,067mmH×1,524mmW×1,346mmD |
