ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定 ウェハー表面検査装置 WM-7S
入江株式会社
この製品について
■特長
・高感度測定⇒短波長レーザの採用による高感度化 ・高ダイナミックレンジ (Bare-Si) ⇒0.079㎛~5.0㎛ ・高い感度安定性⇒繰り返し測定の再現性1％以下 (標準偏差σ/粒子総数の平均値X) ・高コストパフォーマンス ・低ランニングコスト⇒Violet LD採用による長寿命・低消費電力設計■用途
・デバイス量産工程 プロセス・工程管理設備メンテ前後のパーティクル検査・管理パーティクル座標を用いた分析・解析 ・新規ライン構築・設備導入 設置後のパーティクル検査・管理 ・ウェーハ・再生ウェーハメーカ プロセス・工程管理 ・研究機関・大学 プロセス開発 ・レジスト・薬剤・研磨剤 パーティクル検査・評価 ・装置・設備メーカ 開発・製造・出荷前のパーティクル評価等■SMIFシステム搭載可能 (ウェーハサイズ200mm)
SMIFとHEPAフィルタの組み合わせで局所クリーン環境を実現■各種ソフトウェア
・XY座標出力⇒SEM・AFMでの異物分析に使用 ・マップ重ね合わせソフト⇒リファレンスウェーハに対するパーティクルの増減を可視化・洗浄工程の能力確認・プロセス装置によるパーティクル増加の確認が可能 ・ヘイズ測定機能⇒膜付きウェーハの表面状態 (ラフネス) を確認可能■自動感度補正
・感度補正作業を自動化 ・簡単な操作で感度チェックが可能 ・PSL粒子を塗布した校正用ウェーハを利用して正確な感度補正が可能-
シリーズ
ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定 ウェハー表面検査装置 WM-7S
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取扱企業
入江株式会社
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カテゴリ
入江株式会社のレビュー (1件)
4.5Metoree経由で見積もりをしたユーザーからのレビュー
投稿した日時: 2024年5月20日
顧客対応への満足度
顧客対応への満足度の理由
対応が早い。
初回対応までの時間への満足度
初回対応までの時間
0.65時間
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ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定 ウェハー表面検査装置 WM-7S 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウェーハサイズ | 最高検出感度 | 光源 | 走査方式 | 大きさ (mm) | 装置電源 | 到達真空度 | 圧力空気 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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WM-7S |
要見積もり | 50mm~200mm | Bare-Siウェーハ：0.079㎛ | Violet LD (約405nm) | スパイラルスキャン | 860 (W) ×900 (D) ×1,650 (H) | 単相AC200V、20A | -101kPa~-73kPa (-80kPa目安) 20~50ℓ/min (真空ポンプ能力相当) 口径 1/4 in | 490kPa~980kPa (500kPa目安) 2ℓ/min 口径 1/4 in |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
