ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定ウェハー表面検査装置 WM-7S-WM-7S

ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定ウェハー表面検査装置 WM-7S
入江株式会社

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この製品について

ウェーハ表面のパーティクルを高感度に検出することが可能で、半導体製造の歩留まり維持に欠かせない装置です。

■特長・高感度測定⇒短波長レーザの採用による高感度化
・高ダイナミックレンジ (Bare-Si) ⇒0.079㎛~5.0㎛
・高い感度安定性⇒繰り返し測定の再現性1％以下 (標準偏差σ/粒子総数の平均値X) 
・高コストパフォーマンス
・低ランニングコスト⇒Violet LD採用による長寿命・低消費電力設計

■用途・デバイス量産工程　プロセス・工程管理設備メンテ前後のパーティクル検査・管理パーティクル座標を用いた分析・解析
・新規ライン構築・設備導入　設置後のパーティクル検査・管理
・ウェーハ・再生ウェーハメーカ　プロセス・工程管理
・研究機関・大学　プロセス開発
・レジスト・薬剤・研磨剤　パーティクル検査・評価
・装置・設備メーカ　開発・製造・出荷前のパーティクル評価等

■SMIFシステム搭載可能 (ウェーハサイズ200mm) SMIFとHEPAフィルタの組み合わせで局所クリーン環境を実現

■各種ソフトウェア・XY座標出力⇒SEM・AFMでの異物分析に使用
・マップ重ね合わせソフト⇒リファレンスウェーハに対するパーティクルの増減を可視化・洗浄工程の能力確認・プロセス装置によるパーティクル増加の確認が可能
・ヘイズ測定機能⇒膜付きウェーハの表面状態 (ラフネス) を確認可能

■自動感度補正・感度補正作業を自動化
・簡単な操作で感度チェックが可能
・PSL粒子を塗布した校正用ウェーハを利用して正確な感度補正が可能

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定ウェハー表面検査装置 WM-7S

取扱企業
入江株式会社

カテゴリ

検査装置

半導体外観検査装置

検査装置

半導体検査装置

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ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定ウェハー表面検査装置 WM-7S 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対応ウェーハサイズ	最高検出感度	光源	走査方式	大きさ (mm)	装置電源	到達真空度	圧力空気
	WM-7S	要見積もり	50mm~200mm	Bare-Siウェーハ：0.079㎛	Violet LD (約405nm)	スパイラルスキャン	860 (W) ×900 (D) ×1,650 (H)	単相AC200V、20A	-101kPa~-73kPa (-80kPa目安) 20~50ℓ/min (真空ポンプ能力相当) 口径 1/4 in	490kPa~980kPa (500kPa目安) 2ℓ/min 口径 1/4 in