全自動レーザー露光機 LEAR-F25A2-L2S5A20
KnK株式会社

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この製品について

■特徴・柔軟にカスタマイズ対応
・全自動化設計による省人化
・高精度光ヘッド設計、解析精度向上
・一体化、省スペース
・ダブルステージ構造により稼働率の向上

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商品画像	品番	価格 (税抜)	最大基板	基板厚	最小線幅最小線間	量産線幅量産線間	解像度	解析精度	線幅均一性	位置精度	速度250mmX420mm
	LEAR-F25A2-L2S5A20	要見積もり	260mmx510mm	0.05mm-2mm	20um/20um (≤15um膜厚)	25um/25um (≤15um膜厚)	14,000dpi	±2.0um	±10%	±10.0um	20mj/cm29-10面/分 (線幅線間隔>40um) 60mj/cm28-9面/分 (線幅線間隔>30um)