クリーン仕様ステンレス製ダイヤフラムバルブ SCR-55L型-SCR-55L-0HF

クリーン仕様ステンレス製ダイヤフラムバルブ SCR-55L型
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この製品について

■シンプル構造SUS-55L型の高洗浄クリーン仕様モデルシンプル構造のSUS-55L型を、高洗浄クリーン仕様化したダイヤフラムバルブ。実績ある55L型構造を採用、本体接ガス部に精密な内面研磨 (1S以下) を実施しています。クリーンルーム内にて超純水洗浄により最終洗浄を行い、組立から検査までを実施、高圧ガス保安法に基づき (一部ガスでは対象外) 厳格な製造を行っています。

■仕様・ステンレス製
・可燃性
・不燃性
・支燃性
・毒性特殊高圧ガス

■特長・高純度ガス (半導体特殊材料ガス用) として定評ある、SUS-55L型の高洗浄クリーン仕様モデル。
・ボディにSUS316Lステンレス材を使用。
・充てん口はCGA規格 (DISS等) 各種規格に対応可能。
・バルブ本体接ガス部に精密な内面研磨 (1S以下) を実施。
・クリーンルーム内にて、超純水による最終洗浄を実施。
・ヘリウムリークディテクターにより、全数漏れ量測定 (内部リーク、外部リーク) を実施。
・ベーキング時、取外し可能なフューズメタル構造を採用。

■製品取扱上のご注意・容器に装着するとき：バルブは、適合する容器以外に装着しない (容器に適合したバルブを装着して下さい。) バルブおよび容器のネジが良好であること (ネジに有害な傷等がないことを確認してください。シール材の再利用はしないでください。) 過大なトルクをかけない。
・ガスを充てんするとき：過充てんをしない (圧力計や秤量器を用いて適正なガス量を充てんしてください。ガス充てん後、バルブのハンドル (レンチ) を適正なトルクで閉めてください。) 
・運搬をするとき：乱暴な取扱いをしない (乱暴な取扱いや落としたりしないでください。) 
・ガスを消費するとき：バルブの開閉は、静かにゆっくりと行い、過大なトルクをかけない