クリーン仕様ステンレス製ダイヤフラムバルブ FSC-55LN型-FSC-55LN-0HF

クリーン仕様ステンレス製ダイヤフラムバルブ FSC-55LN型
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この製品について

■精密な内面研磨を実施した高洗浄クリーン仕様モデル高純度ガス用ダイヤフラムバルブのスタンダード・FS-55LN型の高洗浄クリーン仕様モデル。構造には実績のある55L型を採用し、バルブ本体接ガス部に精密な内面研磨 (1S以下) を実施しています。ケレップを含め全ての接ガス部品に研磨品を使用することで、パーティクルフリーを実現しました。

クリーンルーム内にて超純水洗浄により最終洗浄を行い、組立から検査までを実施、高圧ガス保安法に基づき (一部ガスでは対象外) 厳格な製造を行っています。
 
■仕様・ステンレス製
・可燃性
・不燃性
・支燃性
・毒性特殊高圧ガス

■特長・高純度ガス (半導体特殊材料ガス用) として多数の導入実績を誇るFS-55LN型の高洗浄クリーン仕様モデル。
・ボディにSUS316Lステンレス材を使用。
・バルブ本体接ガス部に精密な内面研磨 (1S以下) を実施。
・接ガス部の金属材料は、ケレップを含め全て研磨品を使用し、パーティクルフリーを実現。
・軽快でスムーズなハンドル開閉動作。容器内圧14.7MPaを、手動操作で完全閉止可能。
・圧縮ガス用バルブの参考Cv値は0.3。
・ホスフィン、アルシン等特殊材料ガスから、高純度ヘリウム並びに高純度塩素、アンモニア等の液化ガスまで対応可能です。
・ヘリウムリークディテクターにより、全数漏れ量測定 (内部リーク、外部リーク) を実施。
・グランド部には、振動による緩み防止機構を搭載。
・充填口内部にオリフィス取付け可能なタイプもご用意。

■製品取扱上のご注意・容器に装着するとき：バルブは、適合する容器以外に装着しない (容器に適合したバルブを装着して下さい。) バルブおよび容器のネジが良好であること (ネジに有害な傷等がないことを確認してください。シール材の再利用はしないでください。) 過大なトルクをかけない。
・ガスを充てんするとき：過充てんをしない (圧力計や秤量器を用いて適正なガス量を充てんしてください。ガス充てん後、バルブのハンドル (レンチ) を適正なトルクで閉めてください。) 
・運搬をするとき：乱暴な取扱いをしない (乱暴な取扱いや落としたりしないでください。) 
・ガスを消費するとき：バルブの開閉は、静かにゆっくりと行い、過大なトルクをかけない