レジン・ペーストコーター CL
株式会社エンジニアリング・ラボ

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この製品について

■商品概要レジン・ペーストコーターは、半導体業界向けに開発された全自動塗布装置です。

WLはツインエア式ディスペンサーを搭載し、ウェハ上にスパイラルコーティングを行うことにより、ポリイミドやレジストを均一にコーティングすることができます。従来のスピンコーターに比べ、液剤の使用量を大幅に削減することができるため、カーボンニュートラルに貢献します。6～12インチのウェハに対応することができます。

CLは、トレイに搭載されたチップ上にドットやラインをパターンニングしたり、ダム構造形成を目的として、ツインエア式ディスペンサーが、ポリイミド、レジスト、銀ペースト等を50～100um程度で微細塗布を行います。

レジン・ペーストコーターは、クリーンルーム仕様、FFU、ウェハ対応吸着ステージ等、半導体業界に適合した仕様を標準搭載して、コンベアやローダー等のウェハ搬送のご要望にも対応可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
レジン・ペーストコーター CL

取扱企業
株式会社エンジニアリング・ラボ

カテゴリ

加工・工作機器

塗布装置

加工・工作機器

コーター

加工・工作機器

ジェットディスペンサ

加工・工作機器

塗工機

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レジン・ペーストコーター CL 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	搭載ディスペンサー	XYステージ駆動	対応可能基板	搬送系	画像ソフトウェア機能	オーブン	クーリングプレート	検査ユニット	ユーティリティ	装置サイズ	重量
	CL	要見積もり	ツインエア式ディスペンサー	ボールネジ	300mm以下の各種基板	コンベアorローダー	オートアライメント、DXFインポート機能	なし	なし	対応可	AC200V、クリーンドライエア：0.5Mpa、真空	W2,800xD1,500xH2,000mm	2,200kg