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レジストコーター WL-WL
レジストコーター WL-株式会社エンジニアリング・ラボ


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この製品について

■商品概要

レジストコーターは、半導体業界向けに開発された全自動塗布装置です。 WLはツインエア式ディスペンサーを搭載し、ウェハ上にスパイラル状にコーティングを行うことにより、ポリイミドやレジストを均一にコーティングすることができます。従来のスピンコーターに比べ、液剤の使用量を大幅に削減することができるため、カーボンニュートラルに貢献します。6~12インチのウェハに対応することができます。 レジン・ペーストコーターは、クリーンルーム仕様、FFU、ウェハ対応吸着ステージ等、半導体業界に適合した仕様を標準搭載して、コンベアやローダー等のウェハ搬送のご要望にも対応可能です。

  • シリーズ

    レジストコーター WL

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レジストコーター WL 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 搭載ディスペンサー XYステージ駆動 対応可能基板 搬送系 画像ソフトウェア機能 オーブン クーリングプレート 検査ユニット ユーティリティ 装置サイズ 重量
レジストコーター WL-品番-WL

WL

要見積もり

ツインエア式ディスペンサー

ボールネジorリニアモータ

6~12インチウェハ

ローダー

オートアライメント、DXFインポート機能

対応可

対応可

なし

AC200V、クリーンドライエア:0.5Mpa、真空

W2,300xD1,800xH2,000mm

2,200kg

フィルターに該当する他製品

塗布装置の中で同じ条件の製品
質量: 1000000 - 2500000g

フィルターから探す

塗布装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#電子部品製造 #フラットパネル製造 #半導体パッケージング #医薬品製造 #自動車部品加工 #電池製造 #接着剤塗布 #コーティング試験 #印刷工程 #光学部品加工

塗布方式

スリットコータ グラビア コンマ スロットダイ ミニスロットダイ ロールコーター バーコーター スプレー スイング ニードル転写 駆動パルス メカニカルポンプ

対応粘度 mPa・s

1 - 100 100 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000

塗布速度 mm/s

1 - 10 10 - 100 100 - 300 300 - 800

塗布幅 mm

0 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 1,000

位置決め精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 0.5

制御方式

PC/PLC制御 PTP/CP制御 乾燥炉2連 乾燥炉3連 エレクトロ/ニューマティック マイコン制御

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

エンジニアリング・ラボは微細塗布のプロフェッショナルとして、精密塗布装置の開発、製造、販売を行っています。世界最小塗布を実現する、特許技術を使った「ツインエア式ディスペンサー」、高速精密塗布を誇るピエゾジェットディスペン...

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  • 本社所在地: 東京都

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