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この製品について

■商品概要

高精細塗布装置 ESシリーズは、繰返し位置決め精度±2μm以下のX-Yステージを搭載した高精度仕様で、ウェハへのパターニング等、高精細塗布に最適なモデルです。 ツインエア式ディスペサー (フルファンクション) を標準搭載しており、トップビューカメラとサイドビューカメラにより、条件出しやモニタリング、検査等を容易に実施することができるため、微細なパターンニングを実現することができます。 ワークサイズに応じて、3種類の型式 (ES10, ES12, ES30) をラインナップしており、ES30は8インチウェハに対応しており、自動ウェハ搬送ユニットと接続することも可能です。クリーンルーム仕様、FFU、ウェハ対応吸着ステージ等、半導体業界に適合したオプション仕様も充実しています。

  • シリーズ

    高精細塗布装置 ES12

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高精細塗布装置 ES12 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 搭載ディスペンサー XYストローク XY最大速度 Z最大速度 XYZ繰返し位置決め精度 XYZ駆動分解能 有効塗布エリア 搭載機器 画像ソフトウェア機能 自動搬送ユニット 電源 エアー源 装置サイズ 重量 オプション

ES12

要見積もり

ツインエア式ディスペンサー、ピエゾジェットディスペンサー

120x120mm

50mm/s

50mm/s

±2μm

1μm

120x120mm

トップビューカメラ、レーザー変位計、真空吸着ステージ、インターロック機構

描画データ作成、オートアライメント、DXFインポート機能

対応不可

単相100Vx1500W

クリーンドライエア0.5~0.7Mpax30NL/min

W600xD600xH1,600mm

250kg以下

サイドビューカメラ、ノズル洗浄ユニット、ノズル先端位置検出ユニット、真空ポンプ、FFU

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