高精細塗布装置 ES10
株式会社エンジニアリング・ラボ
この製品について
■商品概要
高精細塗布装置 ESシリーズは、繰返し位置決め精度±2μm以下のX-Yステージを搭載した高精度仕様で、ウェハへのパターニング等、高精細塗布に最適なモデルです。 ツインエア式ディスペサー (フルファンクション) を標準搭載しており、トップビューカメラとサイドビューカメラにより、条件出しやモニタリング、検査等を容易に実施することができるため、微細なパターンニングを実現することができます。 ワークサイズに応じて、3種類の型式 (ES10, ES12, ES30) をラインナップしており、ES30は8インチウェハに対応しており、自動ウェハ搬送ユニットと接続することも可能です。クリーンルーム仕様、FFU、ウェハ対応吸着ステージ等、半導体業界に適合したオプション仕様も充実しています。-
シリーズ
高精細塗布装置 ES10
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取扱企業
株式会社エンジニアリング・ラボ
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カテゴリ
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高精細塗布装置 ES10 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 搭載ディスペンサー | XYストローク | XY最大速度 | Z最大速度 | XYZ繰返し位置決め精度 | XYZ駆動分解能 | 有効塗布エリア | 搭載機器 | 画像ソフトウェア機能 | 自動搬送ユニット | 電源 | エアー源 | 装置サイズ | 重量 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
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ES10 |
要見積もり | ツインエア式ディスペンサー、ピエゾジェットディスペンサー | 100x100mm | 50mm/s | 50mm/s | ±2μm | 1μm | 100x100mm | トップビューカメラ、レーザー変位計、真空吸着ステージ、インターロック機構 | 描画データ作成、オートアライメント、DXFインポート機能 | 対応不可 | 単相100Vx1500W | クリーンドライエア0.5~0.7Mpax30NL/min | W600xD600xH1,600mm | 250kg以下 | サイドビューカメラ、ノズル洗浄ユニット、ノズル先端位置検出ユニット、真空ポンプ、FFU |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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この商品の取り扱い会社情報
- 本社所在地: 東京都