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サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-CKD日機電装株式会社

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耐荷重

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搭載リニアサーボモータ最大推力 X/Y (N)

搭載リニアサーボモータ定格推力 X/Y (N)

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エンコーダタイプ

アブソリュートエンコーダ レニシュー社製Resolute、インクリメンタルエンコーダ レニショー社製TONiC

ロストモーション (エンコーダ分解能) μm

10 (5μm時) /2 (1μm時) /1 (0.5μm以下時)

繰返し位置決め精度 (エンコーダ分解能) μm

±5 (5μm時) /±1 (1μm時) /±0.5 (0.5μm以下時)

使用電源 ACV

200

磁極検出方式

アブソリュート時:絶対位置検出/インクリメンタル時:磁極センサ検出

取付方向

テーブル水平上向き、水平下向き

周囲条件 温度

22℃±2℃

周囲条件 湿度

85%以下 結露なきこと

周囲条件 標高

1,000m以下

組合せドライバ

VPHシリーズ、VCⅡシリーズ/VPHシリーズ

美装 テーブル

主に黒色 低温黒色クロム処理

美装 ベース

主に黒色 低温黒色クロム処理

平行度B

15

冷却方法

自然空冷

θ軸オプション

θ軸用ダイレクトドライブモータ、ケーブルキャリアの選択、中継ケーブル長選択、位置決め精度校正システム

この製品について

リニアサーボモータを搭載した高精度ステージ サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現

■高性能保証 (オプション)

・速度変動率性能保証 ・ゲイン調整、共振フィルタの設定による高タクト動作の確認等、お客様要求動作仕様の確認と設定 ・レーザー測定補正データを用いた位置決め精度保証お客様装置上での制度保証も可能

■豊富なラインアップ

・X/XYステージを標準ラインアップ ・ダイレクトドライブモータτDISCをθ軸として搭載したXθ/XYθステージの構築も可能

■高品質~充実した測定環境体制

・測定室:床面除振構造/ 恒温室:22℃±0.5℃ ・三次元測定器:東京精密社製 ・レーザー測長器:レニショー社製

■ステージ型式

他に、ジャバラ付きもございます。

■共通仕様

設置場所:腐食性ガス、研削油、金属粉、油等の有害な雰囲気の中への設置はしないでください。 ※他にも品番がございます。

  • 型番

    NST-D30A4APNA

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サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現 高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ NST-D30A4APNAの性能表

商品画像 価格 (税抜) エンコーダタイプ ステージ有効ストローク mm ロストモーション (エンコーダ分解能) μm 可動部質量 X/Y (kg) 繰返し位置決め精度 (エンコーダ分解能) μm 使用電源 ACV 磁極検出方式 質量 取付方向 周囲条件 温度 周囲条件 湿度 周囲条件 標高 真直度A 組合せドライバ 耐荷重 直角度A 搭載リニアサーボモータ最大推力 X/Y (N) 搭載リニアサーボモータ定格推力 X/Y (N) 美装 テーブル 美装 ベース 平行度B 冷却方法 θ軸オプション
サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-品番-NST-D30A4APNA 要見積もり アブソリュートエンコーダ レニシュー社製Resolute、インクリメンタルエンコーダ レニショー社製TONiC 250 (280) 10 (5μm時) /2 (1μm時) /1 (0.5μm以下時) 54/9 ±5 (5μm時) /±1 (1μm時) /±0.5 (0.5μm以下時) 200 アブソリュート時:絶対位置検出/インクリメンタル時:磁極センサ検出 145.5 テーブル水平上向き、水平下向き 22℃±2℃ 85%以下 結露なきこと 1,000m以下 5 VPHシリーズ、VCⅡシリーズ/VPHシリーズ 100 5 600/261 200/90 主に黒色 低温黒色クロム処理 主に黒色 低温黒色クロム処理 15 自然空冷 θ軸用ダイレクトドライブモータ、ケーブルキャリアの選択、中継ケーブル長選択、位置決め精度校正システム

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ステージ有効ストローク mm

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 600 600 - 800 800 - 1,400

搭載リニアサーボモータ最大推力 N

200 - 300 300 - 500 500 - 600 600 - 700

質量 kg

36 - 50 50 - 80 80 - 120 120 - 170

耐荷重 kg

50 - 100 100 - 200 200 - 250

真直度 μm

3 - 5 5 - 10 10 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

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返答時間

10.9時間

会社概要

CKD日機電装は1967年の創業以来、駆動システムの専業メーカーとして、駆動システムのコアとなるモータ、サーボドライバ、そしてエンコーダも自社開発・生産しています。

主力製品のダイレクトドライブモータで...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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