■分注性能の向上吐出量を1shot当り1mLとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー洗浄液の濃度管理を精度よく行えます。さらに、濃度のオーバーシュートを抑えることができ、洗浄液のコストダウンにもつながります。またサイホン防止機構を内蔵し、薬液の流出を防止します。

■耐腐食性構造接液部はオールフッ素樹脂 (PTFE、PFA、PCTFE) で構成されており、半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水などの薬液に対応できます。また、ポンプ外部は樹脂 (PTFE、PFA、PP、PVC) 及びPTFEコーティングされたネジを使用することにより、高い耐腐食性構造になっています。

■幅広い吐出量設定に対応ポンプ下部のカバーを外して、ストローク長の調節が簡単に行なえます。 1shot当り最大2.7mLの吐出が可能です。 (出荷時は、1shot 当り1mLです。)

■リークセンサ標準装備ベローズ破損時にも素早く対応できるリークセンサを標準装備しました。

型番
CFD-8T-B

シリーズ
分注性能が大幅に向上　薬液補充ポンプ CFD

取扱企業
株式会社イワキ

カテゴリ

ポンプ

薬注ポンプ

ポンプ

ケミカルポンプ

ポンプ

ベローズポンプ

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分注性能が大幅に向上　薬液補充ポンプ CFD CFD-8T-Bの性能表

商品画像	価格 (税抜)	最大吐出量	供給エアー圧力	最大エアー消費量	最大ストローク数	主要材質	液温範囲
	要見積もり	8mL/shot	0.15~0.3MPa	5.4NL/min ※供給エアー圧力0.3MPa、ストローク数30spm、吐出圧力0.05MPaの場合	30spm	PTFE、PFA	20~60℃