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半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ-株式会社イワキ
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返答率

100.0%

返答時間

6.4時間

全型番で同じ値の指標

最大吐出量

100mL/stroke

最高吐出圧力範囲

0.05~0.1MPa

供給エアー圧力範囲

0.15~0.5MPa

最大エアー消費量

1.0NL/stroke

主要材質

SUS304 / PTFE、PFA

液温範囲

15~25℃

この製品について

■高精度

フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、サックバック (オプション) を取り付けることにより吐出端からのレジストのボタ落ちを防止します。 ベローズ内部のデッドボリュームが極めて小さく、液が滞留しない構造です。シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能、フォトレジストへの空気混入を防止します。

■軽量・コンパクト設計

ポンプ設置形態はタテ・ヨコ型どちらでも供給可能なスタイルを準備 (SB-4K/5/6を除く) 、システム組込みに最適な形状を選択できます。コンパクト設計により、周辺機器のためのスペースも確保します。 さらに1台のポンプで微妙な吐出量をコントロールするメカニカルストッパー付シリンダー、確実な動作確認ができるセンサ付シリンダーも用意しました。

■ステンレス・フッ素樹脂製

接液部材質は、ステンレス (SUS304) タイプとフッ素樹脂 (PTFE, PFA) タイプを用意。耐食性に優れ、液の汚染などもなく高解像度・高純度フォトレジストなどの液質管理も安心です。

  • 型番

    エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ

企業レビュー 4.8

Metoree経由で見積もり

2025年7月9日にレビュー済み

顧客対応への満足度

こちらの求めている事を判断し、的確な内容で直ぐに返信いただきました。

初回対応までの時間への満足度

8.34時間

Metoree経由で見積もり

2025年6月3日にレビュー済み

顧客対応への満足度

迅速な回答、および直接訪問での説明を頂き、満足です。

初回対応までの時間への満足度

0.11時間

Metoree経由で見積もり

2024年11月22日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対面でこちらの疑問点に丁寧に回答いただきました。製品に関する以外も教えていただき、大変満足しました。

初回対応までの時間への満足度

0.06時間

Metoree経由で見積もり

2024年5月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

全体的に対応が迅速で、非常に好印象でした。

初回対応までの時間への満足度

0.06時間


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返答率: 100.0%

返答時間: 6.4時間


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半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ エアー駆動ディスペンサー SBシリーズの性能表

商品画像 価格 (税抜) 最大吐出量 最高吐出圧力範囲 供給エアー圧力範囲 最大エアー消費量 主要材質 液温範囲
半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ-品番-エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ 要見積もり 100mL/stroke 0.05~0.1MPa 0.15~0.5MPa 1.0NL/stroke SUS304 / PTFE、PFA 15~25℃

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使用用途

#洗浄 #塩素注入 #医療輸液 #浴場 #半導体プロセス #分注 #液体クロマトグラフィー #分析装置 #プール #高圧薬注

最大吐出量 mL/min

0 - 20 20 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 60,000

最高吐出圧力 MPa

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 40

接液部材質

FFKM PP PVDF PTFE

流量制御方式

インバータ制御 チューブクランプ制御

電源 V

90 - 100 100 - 200 200 - 250

消費電力 W

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 500

接続口径 mm

4 - 6 6 - 8 8 - 10 10 - 12 12 - 14 14 - 16 18 - 20

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

6.4時間


企業レビュー

4.8

会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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  • 本社所在地: 東京都

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