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ウェハー洗浄用　エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ-株式会社イワキ

FA-2 | ウェハー洗浄用　エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ
株式会社イワキ

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この製品について

■中温仕様の2タイプ

横型で少流量モデルのFA-2型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW型を標準化。FA-2型はスプレー方式の枚葉処理用、FA-40VEW型は200/300mmウェハーの洗浄用に適しています。

■肉厚ベローズ

FA-40VEW型には肉厚のベローズを採用。耐圧性に優れ、長期連続運転にも耐える長寿命設計です。

■センサ駆動方式

ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。

■簡単操作

専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。

  • 型番

    FA-2

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ウェハー洗浄用　エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ FA-2の性能表

商品画像 価格 (税抜) 最大吐出量 供給エアー圧力範囲 最大エアー消費量 最大ストローク数 主要材質 液温範囲
ウェハー洗浄用　エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ-品番-FA-2 要見積もり 2L/min 0.2~0.4MPa 50NL/min 150spm PTFE、PFA 5~100℃

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会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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