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Max. 0.45MPaの高圧吐出が可能・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給)用 エアー駆動ベローズポンプ FW/FW-Hシリーズ-株式会社イワキ
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返答率

100.0%

返答時間

6.5時間

最大吐出量

供給エアー圧力範囲

最大エアー消費量

全型番で同じ値の指標

最大ストローク数

120spm

主要材質

PTFE、PFA

この製品について

■高圧・長寿命

肉厚ベローズの採用でMax.0.45MPaの高圧吐出を可能にしました。しかもベローズ寿命はダイヤフラムタイプに比べ3 – 4倍長寿命。ダウンタイムを大幅に低減することができます。

■中温タイプと高温タイプ

高圧・中温 (10~100℃) 仕様のFWシリーズは薬液供給用に加え、洗浄装置・CMPスラリー液の循環用として、高圧・高温 (10~180℃) 仕様のFW-Hシリーズは洗浄装置の循環用ポンプとしてご使用いただけます。

■コンタミフリー

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。パーティクルの発生が少なく、市販の継手が使用可能です。

■安全設計

ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。

  • 型番

    FW

企業レビュー 4.8

Metoree経由で見積もり

2025年6月3日にレビュー済み

顧客対応への満足度

迅速な回答、および直接訪問での説明を頂き、満足です。

初回対応までの時間への満足度

0.11時間

Metoree経由で見積もり

2024年11月22日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対面でこちらの疑問点に丁寧に回答いただきました。製品に関する以外も教えていただき、大変満足しました。

初回対応までの時間への満足度

0.06時間

Metoree経由で見積もり

2024年5月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

全体的に対応が迅速で、非常に好印象でした。

初回対応までの時間への満足度

0.06時間


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Max. 0.45MPaの高圧吐出が可能・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給)用 エアー駆動ベローズポンプ FW/FW-Hシリーズ FWの性能表

商品画像 価格 (税抜) 最大吐出量 供給エアー圧力範囲 最大エアー消費量 最大ストローク数 主要材質 液温範囲
Max. 0.45MPaの高圧吐出が可能・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給)用 エアー駆動ベローズポンプ FW/FW-Hシリーズ-品番-FW 要見積もり 80L/min 0.2~0.5MPa 820NL/min 120spm PTFE、PFA 10~100℃

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最大吐出量 L/min

0 - 5 5 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200

最大運転吐出圧力 MPa

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.7

液温範囲 ℃

0 - 100 100 - 200 200 - 300

供給エアー圧力範囲 MPa

0 - 0.2 0.2 - 0.4 0.4 - 0.6 0.6 - 0.8

接続口径 mm

0 - 10 10 - 20 20 - 25 25 - 35

最大到達真空度 kPaG

-90 - -75 -75 - -65 -65 - -55 -55 - -45 -45 - -35 -35 - -10

最大エアー消費量 NL/min

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 700 700 - 1,500

最大ストローク数 spm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250

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この商品の取り扱い会社情報

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6.5時間


企業レビュー

4.8

会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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  • 本社所在地: 東京都

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