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高温移送が必要な薬液に対応　エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2-株式会社イワキ

FS-100HT2 | 高温移送が必要な薬液に対応　エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2
株式会社イワキ

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最大吐出量

100L/min

供給エアー圧力範囲

0.15~0.5MPa

最大エアー消費量

1,210NL/min

最大ストローク数

120spm

主要材質

PTFE、PFA

液温範囲

10~180˚C

この製品について

■高温大流量移送

Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。CARO (SPM) やH3PO4などの高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上 (55L/min→100L/min) が見込めます。

■洗浄効率の向上

循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による洗浄時間の増加を抑えることが可能です。

■コンタミフリー

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水などの薬液移送が可能です。

■約15％の重量低減

部品形状を最適化することにより、当社従来製品 (80~100L/minクラス) の重量に対して、約15％の重量低減を可能としました。 ポンプ設置、交換時の作業者負担を軽減できます。

  • 型番

    FS-100HT2

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会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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