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コンタミフリー設計・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ-株式会社イワキ
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返答率

100.0%

返答時間

6.5時間

全型番で同じ値の指標

最大吐出量

55L/min

供給エアー圧力範囲

0.15~0.5MPa

最大エアー消費量

670NL/min

最大ストローク数

240spm

主要材質

PTFE、PFA

液温範囲

5~180℃

この製品について

■高速ストローク

ポンプストロークの高速化 (Max.240spm※) により小型・軽量・ローコスト化を実現しました。 ※ストローク数は機種により異なります。詳しくは仕様表をご参照ください。

■コンタミフリー設計

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。また、弊社独自に開発したシャフトシールの採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

■幅広い液温範囲・高圧吐出

取扱い液の液温範囲は5~180℃、吐出圧力はMax.0.45MPaまで可能。洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスまで使用することができます。

■簡単操作

ポンプに内蔵された近接スイッチで電磁弁を切り替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。

■専用コントローラ

専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。

  • 型番

    FS-Hシリーズ

企業レビュー 4.8

Metoree経由で見積もり

2025年6月3日にレビュー済み

顧客対応への満足度

迅速な回答、および直接訪問での説明を頂き、満足です。

初回対応までの時間への満足度

0.11時間

Metoree経由で見積もり

2024年11月22日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対面でこちらの疑問点に丁寧に回答いただきました。製品に関する以外も教えていただき、大変満足しました。

初回対応までの時間への満足度

0.06時間

Metoree経由で見積もり

2024年5月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

全体的に対応が迅速で、非常に好印象でした。

初回対応までの時間への満足度

0.06時間


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コンタミフリー設計・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ FS-Hシリーズの性能表

商品画像 価格 (税抜) 最大吐出量 供給エアー圧力範囲 最大エアー消費量 最大ストローク数 主要材質 液温範囲
コンタミフリー設計・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズ-品番-FS-Hシリーズ 要見積もり 55L/min 0.15~0.5MPa 670NL/min 240spm PTFE、PFA 5~180℃

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最大吐出量 L/min

0 - 5 5 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200

最大運転吐出圧力 MPa

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.7

液温範囲 ℃

0 - 100 100 - 200 200 - 300

供給エアー圧力範囲 MPa

0 - 0.2 0.2 - 0.4 0.4 - 0.6 0.6 - 0.8

接続口径 mm

0 - 10 10 - 20 20 - 25 25 - 35

最大到達真空度 kPaG

-90 - -75 -75 - -65 -65 - -55 -55 - -45 -45 - -35 -35 - -10

最大エアー消費量 NL/min

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 700 700 - 1,500

最大ストローク数 spm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

4.8

会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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  • 本社所在地: 東京都

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