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大幅な省レジスト・コンタミフリー フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R-株式会社イワキ
💻 電子・電気機器業界用

株式会社イワキの対応状況

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7.7時間

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吐出量

5.0mL/shot

最高吐出速度

0.1~4.0mL/sec

吸込速度

0.1~3.0mL/sec

最高吐出圧力

0.15MPa

繰返し精度

±0.3%以下 (F.S.)

最高取扱い液粘度

200mPa·s

この製品について

■大幅な省レジスト

駆動源に高トルクステッピングモータを使用しているため、フィルタの目詰まりや粘度変化によって吐出負荷が増加しても吐出量の減少がほとんどなく、高い吐出量精度を維持します。従って塗布量の設定は必要最小限で済み、レジスト液の使用量を大幅に削減できます。 ・吐出精度:±0.3%以下 (F.S.) ・直線性:±0.5% (F.S.) 注:PDS-105Rの場合 ・分解能:0.01mL以下

■コンタミフリー

ポンプ部は内面が平滑でデッドボリュームの少ないチューブフラム構造を採用。レジスト液の滞留部がほとんどなく、パーティクルの発生を防ぎます。

■多様なコートプロセスに対応

吐出速度を1ショット内で任意に変えることができるため、微量・短時間塗布など多様なレジストコートプロセスに対応可能です。

■ダウンタイムの短縮

内蔵の圧力センサ (オプション) で吐出圧力をモニタリングすることにより、フィルタの交換時期が管理できます。また、吐出量・吐出時間の設定は、コントローラへの数値入力のみでOK。オペレータの手間がかからず、ダウンタイムの短縮が図れます。

  • 型番

    PDS-105R

企業レビュー 4.8

Metoree経由で見積もり

2024年11月22日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対面でこちらの疑問点に丁寧に回答いただきました。製品に関する以外も教えていただき、大変満足しました。

初回対応までの時間への満足度

0.06時間

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顧客対応への満足度

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初回対応までの時間への満足度

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大幅な省レジスト・コンタミフリー フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R PDS-105Rの性能表

商品画像 価格 (税抜) 吐出量 最高吐出速度 吸込速度 最高吐出圧力 繰返し精度 最高取扱い液粘度
大幅な省レジスト・コンタミフリー フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R-品番-PDS-105R 要見積もり 5.0mL/shot 0.1~4.0mL/sec 0.1~3.0mL/sec 0.15MPa ±0.3%以下 (F.S.) 200mPa·s

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最大吐出量 L/min

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 1,400

最高吐出圧力 MPa

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 6 6 - 10 10 - 20 20 - 30

ストローク数 spm

0 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 800

ストローク長 mm

0 - 2 2 - 4 4 - 10 10 - 20 20 - 100

ダイヤフラム径 mm

Φ42 Φ65 Φ84 Φ120 Φ144 Φ234

モータ出力 W

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 2,000

電源 V

12 - 24 24 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250

使用液粘度 mPa・s

0 - 100 100 - 500 500 - 2,000 2,000 - 5,000 5,000 - 20,000

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

7.7時間


企業レビュー

4.8

会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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  • 本社所在地: 東京都

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