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電源入力
3ΦAC200V±10% 50／60Hz 約80kVA
真空槽サイズ
両面扉式、サイズφ1,200mm×L2,000mm (約2,230L)
制御方式
手動運転／自動運転 (タッチパネル入力)
排気完了真空圧力
1.33×10-3Pa以下 (1.33×10-3Pa以上なら設定変更可能)
真空ポンプ
ターボ分子ポンプ2台、メカニカルブースターポンプ2台 ロータリーポンプ2台
ガス圧力コントロール
自動圧力制御弁 (300Aフランジ) 2系統
真空計
電離真空計、ピラニ真空計、隔膜真空計、デジタル圧力スイッチ
マスフローコントローラ
7系統 (Ar、H2、CH4、C2H2、N2、C6H5CH3、HMDSO)
高圧パルス電源
出力電圧-20kVp、出力電流 90Ap、充電容量16kW 出力パルス立上り1μs以下 (但し抵抗負荷時) 繰返し周波数 500Hz~5,000Hz
パルスRF電源
1,500W (13.56MHz) (3,000Wに仕様変更可能)
標準計測器
デジタルオシロスコープ (出力電圧、出力電流)
型番
PBII―C2000取扱企業
株式会社栗田製作所カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 電源入力 | 真空槽サイズ | 制御方式 | 排気完了真空圧力 | 真空ポンプ | ガス圧力コントロール | 真空計 | マスフローコントローラ | 高圧パルス電源 | パルスRF電源 | 標準計測器 | オプション |
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要見積もり | 3ΦAC200V±10% 50／60Hz 約80kVA | 両面扉式、サイズφ1,200mm×L2,000mm (約2,230L) | 手動運転／自動運転 (タッチパネル入力) | 1.33×10-3Pa以下 (1.33×10-3Pa以上なら設定変更可能) |
ターボ分子ポンプ2台、メカニカルブースターポンプ2台 ロータリーポンプ2台 |
自動圧力制御弁 (300Aフランジ) 2系統 | 電離真空計、ピラニ真空計、隔膜真空計、デジタル圧力スイッチ | 7系統 (Ar、H2、CH4、C2H2、N2、C6H5CH3、HMDSO) |
出力電圧-20kVp、出力電流 90Ap、充電容量16kW 出力パルス立上り1μs以下 (但し抵抗負荷時) 繰返し周波数 500Hz~5,000Hz |
1,500W (13.56MHz) (3,000Wに仕様変更可能) | デジタルオシロスコープ (出力電圧、出力電流) |
冷却水用チラー、排ガス処理装置、コンプレッサー、クライオポンプ、自動搬送台車 |
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成膜方式がCVD法の製品
