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測定対象物
シリコン基板
厚み測定範囲 (µm)
10~500 (n=3.5のとき)
測定光源 (nm)
波長可変光源 (1,515~1,585)
光出カパワー (mW)
0.6、クラス1
ガイド用光源
赤色LD、クラス1M
計測時間 (ms)
最小20
測定再現性 (µm)
0.1以下 (3alにおいて)
モニタ出力
干渉出力信号
PCインターフェース
Ethernet
電源電圧 (V)
AC 100-240 (50 / 60 Hz)
外観寸法 (WxH×D) (mm)
364 x 147 x 391
重量 (kg)
9
型番
Siウェハ厚み測定器シリーズ
光計測器・制御器 Siウェハ厚み測定器取扱企業
株式会社アルネアカテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 測定対象物 | 厚み測定範囲 (µm) | 測定光源 (nm) | 光出カパワー (mW) | ガイド用光源 | 計測時間 (ms) | 測定再現性 (µm) | モニタ出力 | PCインターフェース | 電源電圧 (V) | 外観寸法 (WxH×D) (mm) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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|
要見積もり | シリコン基板 | 10~500 (n=3.5のとき) | 波長可変光源 (1,515~1,585) | 0.6、クラス1 | 赤色LD、クラス1M | 最小20 | 0.1以下 (3alにおいて) | 干渉出力信号 | Ethernet | AC 100-240 (50 / 60 Hz) | 364 x 147 x 391 | 9 |
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測定原理が非接触式の製品
厚み測定器をフィルターから探すことができます
使用用途
#金属加工 #プラスチック成形 #フィルム検査 #紙製品検査 #半導体検査 #塗装管理 #ガラス製造 #電池製造 #医療機器製造測定原理
接触式 非接触式 超音波式 渦電流式測定方式
単点式 ラインスキャン式 面スキャン式構造形態
卓上型 ハンディ型 インライン型測定対象
薄膜対応型 厚板対応型測定範囲 mm
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000分解能 秒
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000測定精度 mm
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1繰り返し精度 μm
0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10重量 kg
0 - 1 1 - 10 10 - 500
