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マスエアーフローセンサー PMF2000-オールデバイス株式会社

PMF2000 | マスエアーフローセンサー PMF2000
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■最大定格

・動作温度範囲:-25 to85℃ ・校正温度範囲:0 to50℃ ・保管温度範囲:-40 to90℃ ・湿度:0 to100%RH,結露なきこと ・耐衝撃性:100gピーク (5回落下、3軸) ・動作圧力:25 psi

■概要

PMF2000は、最新の微細加工技術を駆使したポシファの第3世代サーマルフローダイを搭載しています。このセンサは、一対のサーモパイルを用いて、マスフローによる温度勾配の変化を検出し、優れた信号対雑音比と繰り返し性を実現します。センサーダイの熱絶縁構造は「ソリッドステート」であるため、競合技術で用いられる表面空洞や脆弱な膜は必要なく、センサは目詰まりや圧力衝撃に強くなっています。 PMF2000シリーズには、アナログ出力のPMF2000VとデジタルI²C出力のPMF2000Dがあります。対応最大流量は200sccmから10SLMまでです。センサは0～50℃の温度範囲で温度補償されており、リニアライズ出力により、最大限の柔軟性と使いやすさを提供します。

■用途

・酸素濃縮装置 ・ネブライザー ・CPAP装置 ・リークディテクション ・分光器 ・マスフローコントローラ ・燃料電池制御 ・環境モニタリング

■特長

・堅牢で費用対効果の高いパッケージで比類のない性能を実現 ・目詰まりや圧力衝撃に強い「ソリッドステート」セヱシングコア (表面空洞や脆弱な膜がない) ・高精度 (読み取り率4％typ.) ・高速応答 (5mstyp.) ・リニア出力と温度補償 ・ゼロドリフトを最小限に抑えた長期安定性

  • 型番

    PMF2000

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測定原理

液体流量センサー ガス流量センサー 超音波流量センサー 電磁式流量センサー

形状

挿入型 結果出力型

出力信号

アナログ出力 デジタル出力

特徴

高精度型 広範囲対応型 高耐久型

精度 % F.S.

1 - 2 2 - 2.5 2.5 - 3 3 - 4 4 - 5

応答時間 msec

1 5

供給電圧 VDC

3 - 6 6 - 11 11 - 17 17 - 24

動作温度範囲 ℃

-40 - -10 -10 - 60 60 - 85 85 - 180

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オールデバイス株式会社は、圧力センサをはじめとする各種センサ・スイッチの販売を行っている会社になります。

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